![](https://img.newspim.com/news/2022/08/24/2208240932482340_t3.jpg)
예스티, 경쟁사 특허 무효심판 청구 "공격적 대응으로 조속한 분쟁 종결"
... 어닐링 공정은 반도체의 SiO(실리콘 옥사이드) 표면 결함을 고압의 수소 중수소로 치환해 신뢰성(Reliability...
2023-11-22 09:48