[뉴스핌=유주영 기자] 테스는 열교환용 플레이트가 구비된 트랜스퍼 챔버 및 이를 구비한 반도체 제조장비에 대한 특허를 취득했다고 20일 공시했다.
테스는 "본 특허에 의하면,기판흐름의 정체를 방지하여 공정속도가 향상되는 효과가 있으며, 열에너지의 낭비를 방지하여 경제성을 향상하는 효과가 있다"고 밝혔다
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[뉴스핌 Newspim] 유주영 기자 (boa@newspim.com)