[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체 장비 전문기업 아이에스티이는 SK하이닉스로부터 HBM 전용 풉크리너(FOUP Cleaner) 장비 공급 계약을 추가 수주했다고 9일 밝혔다. 회사는 오는 7월 21일까지 SK하이닉스에 해당 장비를 공급할 예정이다.

회사에 따르면 지난 1월 2일에도 아이에스티이는 SK하이닉스로부터 HBM 전용 풉크리너 장비를 수주했다. 당시 회사는 해당 수주가 HBM 경쟁력 강화를 위한 투자와 연계된 만큼 관련 수요는 계속 이어질 것으로 기대한다고 밝힌 바 있다.

최근 반도체 업계는 신규 생산라인 증설과 더불어 기존 팹의 공정 고도화와 운영 안정성 강화를 위한 투자가 병행되고 있다. 특히 HBM을 중심으로 한 고부가 메모리 공정에서는 웨이퍼 이송 및 보관 과정에서의 청정도 관리와 공정 신뢰성 확보가 핵심 경쟁 요소로 부각되고 있다.

아이에스티이의 풉크리너 장비는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼가 이송·보관되는 풉 내부의 오염원을 제거해 공정 안정성을 높이는 핵심 장비다. 회사는 기존 메모리 공정은 물론 HBM 공정에 대한 대응 역량을 지속적으로 강화해 왔다. 

아이에스티이 관계자는 "SK하이닉스 HBM 증산에 맞추어 HBM 전용 풉크리너를 지속적으로 공급하고 있다"며 "DRAM 호황에 따른 HBM 및 DDR5 DRAM 증산에 따른 풉크리너 수요가 지속 이루어질 것"이라고 밝혔다.

한편 아이에스티이는 향후에도 풉크리너를 기반으로 풉 인스펙션(FOUP Inspection) 복합장비, PECVD 등 반도체 공정 장비 라인업을 고도화하고, 고부가 메모리 공정 및 차세대 반도체 생산 환경에 대응하는 장비 공급을 지속적으로 확대해 나갈 계획이다.

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