[서울=뉴스핌] 김양섭 기자 = 반도체 장비 전문기업 예스티는 기존 전환사채(CB)에 부여된 100억원의 매도청구권(콜옵션)을 행사했으며, 콜옵션 행사로 취득한 주식 전량을 소각할 계획이라고 15일 밝혔다. 소각이 완료될 경우 전체 발행주식의 5.02% 수준인 90만 6289주는 전환이 이루어 지지 않아 주주들에 대한 지분 희석 리스크가 상당 부분 해소될 전망이다.

예스티는 고압 어닐링 장비 개발이 본격화함에 따라 이익 체질이 개선되고 있는 과정에서 이번 소각을 결정함으로써 주주가치를 극대화할 계획이다. CB소각에 따른 부채 감소를 통해 재무구조도 개선된다.

예스티는 지난달 산업통상자원부가 주관하는 '반도체 구조결함 개선용 중수소 고압 어닐링장비 개발' 국책과제에 경쟁사와 경합을 거쳐 단독으로 선정된 바 있다. 해당 과제에는 국내 굴지의 반도체 기업이 수요기업으로 참여하고 있으며, 수요기업과 협의를 통해 차세대 고압 어닐링 장비의 실질 설계 단계에 돌입했다. 예스티는 국책과제를 통해 공정 적용도와 생산성이 높은 장비의 개발을 목표로 하고 있다.

예스티는 기존에 자체 개발 중인 고압 어닐링 장비도 알파테스트에서 고객들이 요구하는 성능을 충족하는 성공적인 결과를 확인했다. 현재 베타호기에 대한 공정 적용 전 자체검증을 완료했으며, 올해 하반기에는 고객사에 반입돼 실질적인 공정평가가 이루어질 예정이다.

예스티 관계자는 "자체 개발중인 고압어닐링 장비는 기존 장비에 비해 적용 온도와 압력 범위가 넓어 공정 확장성이 뛰어날 뿐 아니라 핵심 설비인 압력 챔버를 자체 기술로 국산화 해했기 때문에 가격 경쟁력이 있다"며 "배치(Batch)의 크기가 증가하면서 생산성이 향상됐으며, 고효율 히터 기술을 도입해 반도체 생산 과정에서 탄소 배출을 줄일 수 있다"고 말했다.

그는 이어 "성능, 생산성, 가격 등 모든 면에서 우수한 고압 어닐링 장비를 조속히 상용화해 회사의 실적을 극대화하겠다"며 "이와 함께 국책과제도 성실히 수행해 고도화된 고압 어닐링 장비 개발을 통해 글로벌 반도체 장비회사로 도약해 나갈 것"이라고 강조했다.

고압 어닐링 장비는 고압의 수소 및 중수소를 이용하여 반도체 표면의 결함을 제거하는 어닐링 공정에 사용되는 장비로, 반도체 생산 공정의 효율성을 높이는 핵심 장비로 알려져 있다. 예스티는 열압 제어 기술을 기반으로 2021년부터 고압 어닐링 장비를 개발해 왔다. 

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