전체기사 최신뉴스 GAM
KYD 디데이
글로벌 특파원

속보

더보기

[고영화의 중국 반도체] <7> 中 반도체소재, 웨이퍼 등 국산화 탄력<下>

기사입력 : 2022년12월09일 13:16

최종수정 : 2022년12월09일 14:11

◆ 화터기체, 진홍기체, 남대광전 등 다수 상장사 전자기체 국산화에 참여

반도체 제조 공정에서는 5N(5개 'Nine' 즉 99.999% 순도) 이상 초순도의 다양한 특수기체가 사용된다.

SAI 자료에 따르면, 2020년 세계 반도체 공업기체 시장은 독일 린더(Linde) 20.2%, 프랑스 에어리퀴드(Air Liquide) 15.5%, 미국 에어프로덕츠(Air Products) 6.6%, 일본 TNSC 5.5% 등 4대 다국적기업이 47.7%를 과점하고 있다.

2020년 중국 전자기체 시장은 85%를 위에서 언급한 4대 다국적기업이 차지하고 있으며, 중국기업은 화터기체(Huate) 1.9%, 진홍기체(Jinhong) 1.6%, 남대광전(Nata) 1.5%, 야커과기(Yoke) 1.3% 등이 있다.

화터기체(华特气体, Huate Gas, 688268.SH, 포산)는 1999년 설립되었고, 고순도 헥사플루오로에탄(C2F6), 고순도 사불화탄소(CF4), 고순도 일산화탄소(CO2), 건식 포토레지스트 가스 등 230여종의 특수 가스 및 일반 가스 10여종을 생산한다. SMIC, 창장메모리(YMTC), TSMC(중국), Intel(중국), SK Hynix(중국) 등을 포함하여, 중국 8인치 및 12인치 반도체 제조기업 80% 이상을 고객으로 확보했다. 올해 상반기 매출은 8.84억위안(전년대비 +36.5% 증가)이며, 특수기체 비중은 59.1%이다.

진홍기체(金宏气体, Jinhong Gas, 688106.SH, 쑤저우)는 1999년 설립 이후, 특수가스, 일반가스, 천연가스 등 100여 종의 기체를 생산한다. 특히 초순수 암모니아(NH3) 가스의 중국시장 점유율은 50%를 넘는다. 화룬마이크로(华润微电子), 렌신반도체(联芯集成), 삼성전자, 삼안광전(三安光电) 등이 주요고객이다. 올해 상반기 매출은 9.30억위안(전년대비 +19.4% 증가)이며, 특수기체 비중은 37.8%이다.

남대광전(南大光电, Nata, 300346.SZ, 쑤저우)은 2000년 설립되었고, 삼불화질소(NF3), 육불화황(SF6) 등 불소 함유 가스와 인산(H3O4P), 비소산(As2O5〮nH2O) 등 수소계 가스를 주로 생산한다. 주요고객은 오스람(Osram), 엘지(LG), 삼안광전(三安光电), 스란마이크로(士兰微电子) 등이다. 올해 상반기 매출은 8.47억위안(전년대비 +91.3% 증가)이며, 특수기체 비중은 79.0%이다.

야커과기(雅克科技, Yoke Technology, 002409.SZ, 우시)는 1997년 설립 이후 일반 방염제를 생산하여, 2010년 선전거래소에 상장된 이후 2013년 LNG 보온복합소재 사업에 진출하였다. 2016년에는 반도체 후공정 실리카 필러 전문기업 화페이전자(华飞电子基材), ALD/CVD 소재 전문기업 한국 유피케미칼(UP Chemical) 및 특수기체 전문기업 청두시 커메이터특종기체(科美特特种气体) 등 3사를 인수하면서 반도체 소재 기업으로 변신했다. 또한 2017년 한국 포이스(Foures)와 중국 JV를 설립하여 반도체 기체/액체 수송설비 사업에 진출했다.  

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 =중국 야커과기(Yoke)의 자회사 유피케미칼(UP Chemical)의 평택 소재 특수가스 공장설계도 [출처= 네이버, 2022.12]. 2022.12.09 chk@newspim.com

야커과기의 자회사 커메이터(科美特)는 불소가스 중 사불화탄소(CF4) 년2000톤, 육불화황(SF6) 년8500톤 등을 생산 중이다. 야커과기의 올해 상반기 매출은 20.6억위안(전년대비 +14.2 증가)이고, 전자기체 비중은 10.7% 이다.

이외에도 하오화과기(昊华科技, HHKJ, 600378.SH, 청두), 카이메이터치(凯美特气, KMT, 002549.SZ, 웨양), 화웬기체(和远气体, Heyuan Gas, 002971.SZ, 장양), 중촨중공(中船重工, CSIC, 국유기업, 비상장, 베이징) 산하 718연구소, 리밍화공연구원(黎明化工研究设计院, LRICI, 국유기업, 비상장, 뤄양) 등도 반도체 특수기체를 생산하고 있다.

◆ 풍부한 광물자원을 기반으로 스퍼터링타겟 국산화 순풍

스퍼터링 타겟은 물리적 증착(PVD)에 사용되는 고순도 금속소재로서, 반도체의 경우 99.9995%(5N5) 이상, LCD 패널 경우 99.999%(5N) 이상, 태양전지 경우 99.995%(4N5) 이상의 순도가 요구된다.

세계반도체무역통계(WSTS) 자료에 따르면, 2020년 세계 스퍼터링타겟 시장은 일본 제이엑스니폰(JX Nippon) 30%, 토소(TOSOH) 20%, 미국 하니웰(Honeywell) 20%, 프렉스에어(Praxair) 10% 등 일본과 미국의 4개 기업이 80%를 독점하고 있다.

요우옌신소재(有研新材, GRIAM, 600206.SH, 베이징)도 요우옌꾸이(Gritek)와 같이 국유기업 요우옌과기그룹(有研科技集团, GRINM)의 자회사이다. 1999년 그룹에서 분리되면서 동시에 상하이거래소에 상장되었다. 스퍼터링타겟 중 8~12인치 반도체 용 알루미늄, 티타늄, 구리, 코발트(Co) 제품은 양산 중이고, 7nm 이하 첨단 제품은 개발 중이다. 앞으로 2025년까지 년 5.3만톤의 스퍼터링타겟 제품을 생산할 수 있도록 공장을 확장 중이다. 올해 상반기 매출은 74.1억위안(전년대비 -2.9% 감소)이고, 스퍼터링타겟 제품 비중은 67.6%이다.

장펑전자(江丰电子, KFMI, 300666.SZ, 닝보) 는 2005년 설립되었고, '2017년 중국반도체소재10대기업'으로 선정되기도 했다. 스퍼터링타겟 중 12인치 반도체용 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 탄탈럼(Ta), 구리(Cu) 제품은 양산하고 있으며, 90-7nm 공정에 이미 납품했고, 5nm 공정의 일부 납품하고 있다. 2020년, 알루미늄 제품 13.2만개, 티타늄 6.1만개, 탄탈럼 3.2만개를 생산했고, 구리제품은 년1.8만개 생산시설을 건설 중이다. 올해 상반기 매출은 10.86억위안(전년대비 +50.2% 증가)이고, 스퍼터링타겟 제품 비중은 60.7%이다.

아스촹(阿石创, Acetron, 300706.SZ, 푸저우)은 2002년 설립되었고, 2020년 스퍼터링타겟 제품 총 590톤을 양산했다. 향후 몰리브덴(Mo) 년800톤, 알루미늄 년350톤, 실리콘(Si) 년50톤, 구리 년2000톤 등을 증산할 계획이다. 올해 상반기 매출은 3.4억위안(전년대비 +39.4% 증가)이고, 스퍼터링타겟 비중은 56.8%이다.

롱화과기(隆华科技, Longhua, 300263.SZ, 뤄양)는 1995년 설립되었다. 스퍼터링타겟은 2020년에 이미 산화인듐주석(ITO) 제품 년10톤, 몰리브덴 년80톤을 생산했고, 향후 산화인듐주석 제품을 년140톤을 추가 생산할 계획이다. 올해 상반기 매출은 11.6억위안(전년대비 +21.7% 증가)이고, 스퍼터링타겟 비중은 21.4%를 차지했다. 

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 =  한중합자 스퍼터링타겟 기업 '즈롱신재료'(智隆新材)의 광동성 중산시 소재 본사 전경
[출처= 바이두, 2022.12]. 2022.12.09 chk@newspim.com

즈롱신재료(智隆新材, 비상장, 중산)는 한국 LT금속과 광저우즈무과기(广州智沐科技)가 6억 위안을 공동투자하여 2019년 4월에 설립한 중한합자 스퍼터링타겟 전문기업이다. 고순도 산화인듐주석(ITO) 제품을 2020년 하반기부터 양산하고, 이어 이그조(IGZO: 인튬(Indium), 갈륨(Gallium), 아연(Zinc), 산소(Oxide)) 제품을 개발 중이다.

 이외에도 오라이고신재료(欧莱新料, Omat, 비상장, 샤오관), 잉리과기(映日科技, Yingri, 비상장, 우후) 등이 스퍼터링타겟 소재를 생산하고 있다.

◆ 중국 반도체 소재 산업은 전국 각지에서 '인해전술' 양상

오늘은 베어웨이퍼, 전자기체, 스퍼터링타겟 등의 중국 반도체 소재의 현주소를 살펴보았다. 기술적인 특징 이외에, 중국 반도체 소재산업의 특징을 보면 3가지로 요약할 수 있다.

첫째는 반도체 소재산업에 참여한 기업의 수가 정말 많다는 것이다. 둘째는 일부러 기업명칭 뒤에 기업의 소재지를 기입해 놓았는데, 반도체 소재 기업들이 특정한 지역에 몰려있지 않고 중국 전역에 걸쳐 있다는 것이다. 셋째는 대부분의 기업들이 상장기업이라는 것은 중국 정부가 반도체 소재기업에게 관대하게 상장 기회를 주고 있다는 것이다.

현재 중국의 반도체 소재 국산화율은 높지 않지만 이렇게 많은 기업들이 '인해전술'로 도전하는 것을 보면, 투입 확대에 따른 순조로운 성과 확대도 필연적이라고 본다.

베이징= 최헌규 특파원 chk@newspim.com

[뉴스핌 베스트 기사]

사진
외교부 1차관 인사 충격파 [서울=뉴스핌] 유신모 외교전문기자 = 국장급에서 일약 차관으로 직행한 박윤주 외교부 1차관 임명에 외교부가 술렁이고 있다. 외교부 조직과 인사를 총괄하는 책임자인 1차관에 현재 실장급(1급)보다 후배 기수인 박 차관을 전격 기용한 배경을 놓고 설왕설래 중이다. 이번 인사는 파격을 넘어 충격에 가깝다. 박 차관은 전임 김홍균 1차관보다 외무고시 기수로 11기 아래이며 나이도 9살이나 어리다. 박 차관이 미국 관련 업무를 오래했다고는 하나 본부 주요 국장도 거치지 않았고 공관장도 특명전권대사가 아닌 총영사를 지냈다. 기수나 나이, 경력 모든 면에서 전례가 없는 인사다. [서울=뉴스핌] 이길동 기자 = 박윤주 신임 외교부 1차관이 11일 오전 서울 종로구 외교부에 첫 출근을 하고 있다. 2025.06.11 gdlee@newspim.com 퇴직한 외교관 출신의 한 인사는 "차관이 실장보다 후배였던 경우는 외교부 역사상 한 번도 없었다"면서 "이 정도 인사면 조직에 미치는 영향이 만만치 않을 것"이라고 말했다. 전남 보성 출신인 박 차관은 민주당 정부에서 요직을 거쳤다. 노무현 정부 출범 때 정권인수위원회를 거쳐 이종석 당시 청와대 국가안전보장회의(NSC) 사무차장 밑에서 일했다. '자주파·동맹파 파동'으로 외교부 북미국장에서 물러난 위성락 현 국가안보실장도 당시 NSC에서 함께 일했으며, 위 실장이 주미 대사관 정무공사일 때도 워싱턴 공관에서 함께 근무했다. 문재인 정부 들어 북미국 심의관과 인사기획관을 거쳐 애틀랜타 총영사로 임명됐지만, 1년여 만에 윤석열 정부 출범과 함께 교체됐다. 외교부가 술렁이는 이유는 단순히 의외의 인물이 발탁됐기 때문만은 아니다. 박 차관 임명이 의미하는 것이 무엇인지에 대한 불안감이 있다. 전례없는 파격 인사로 조직에 충격을 가하고 강도 높은 조직 개편과 체질 개선을 추진하기 위한 인사가 아니냐는 관측이 나오고 있다. 외교부는 민주당 정부가 집권했을 때마다 개혁의 대상이었으며, 실제로 외교부를 '손보려는' 시도도 자주 있었다. 노무현 정부때는 중앙인사위원회·행정자치부 출신의 차관을 임명해 조직 개편을 시도했고, 문재인 정부 때는 주미 대사관의 한·미 정상통화 유출사건을 계기로 외교부 내 '친미 라인'을 제거하기 위해 과도한 징계를 가해 물의를 빚은 적도 있다. 외교부의 한 중견 간부는 "이번 차관 인사가 태풍의 전조일지도 모른다는 불안감이 외교부 내에 있는 것이 사실"이라며 "박 차관 임명이 조직에 활력을 불어넣는 신선한 충격으로 작용하기를 바란다"고 말했다. opento@newspim.com 2025-06-11 16:23
사진
[이재명의 사람들]김현지 총무비서관 [서울=뉴스핌] 지혜진 기자 = 이재명 정부가 출범한 지 1주일이 지난 가운데 비서실장을 비롯해 수석비서관급 인선도 추가로 이뤄지고 있다. 현재까지 드러난 이재명 대통령 인선의 핵심은 '실용'이다. 인수위원회 없이 출발해야 하는 정부인 만큼 기존에 손발을 맞춰온 인사들을 적극적으로 등용하는 모습이다. 특히 이 대통령이 경기 성남시장, 경기도지사 때부터 호흡을 맞춰온 성남·경기라인 인물들은 정부 요직에 내정됐다. 대표적인 인물이 총무비서관으로 내정된 김현지 전 보좌관이다. 이 대통령의 최측근 중 한 명으로 꼽히는 김 전 보좌관은 이 대통령이 성남시장이던 때 시민운동을 하면서 인연이 닿았다. 대학 졸업 직후인 1998년 당시 변호사이던 이 대통령이 설립을 주도한 성남시민모임에 합류했으며 이곳에서 집행위원장, 사무국장 등을 거쳤다. 이 대통령이 정치를 결심하게 된 계기가 됐던 성남시립병원 설립 운동도 함께했다. 성남시립병원추진위원회에서 사무국장을 역임한 것. 이후 이 대통령이 성남시장에 당선된 후에도 시민운동에 방점을 찍었다. 그는 2011년 성남 지역에서 활동하는 환경·도시 전문가 등이 주축이 된 민관 협력 기구 '성남의제21'에서 사무국장으로 활동했다. 그러다 이 대통령이 2018년 경기도지사에 당선된 후에야 도청 비서관직을 맡으며 본격적으로 이 대통령을 보좌하기 시작했다. 김 전 보좌관은 '그림자 보좌'로 유명하다. 본인이 전면에 나서지 않는 성향이다. 시민운동가로 활동할 때는 지역 언론 인터뷰에도 응하는 등 적극적인 모습을 보였으나 이 대통령이 국회에 입성한 이후에는 언론 노출을 지양해왔다. 또한 김 전 보좌관은 이 대통령에게 직언을 아끼지 않는 것으로 알려졌다. 당 관계자는 "김 전 보좌관은 리스크 관리를 중요시하는 사람이다. 문제가 될 만한 것들은 사전에 차단하려고 하고 조심성이 강하다"고 했다. 이 대통령의 최측근으로 꼽히던 정진상 전 당대표실 정무조정실장과 김용 전 민주연구원 부원장이 각각 대장동 사건과 불법 정치자금 수수 혐의 등으로 사법리스크에 휘말리면서 당직을 내려놓은 영향도 있다. 김 전 보좌관이 정 전 실장과 김 전 부원장의 자리를 대체했다는 이야기도 있었다. 김 전 보좌관이 맡게 될 대통령실 총무비서관은 대통령실 예산을 총괄하는 직책으로 공무원 직제상 1급에 해당한다. 특히 대통령실 2급 이하 행정관 등 실무진 인사에 관여할 수 있다. 이 대통령은 수석급 인선에는 강훈식 비서실장, 우상호 정무수석, 강유정 대변인 등 비교적 친명(친이재명) 색채가 옅은 통합형 인재를 등용하는 한편 실무라인에는 김 전 보좌관처럼 오랜 기간 손발을 맞춰온 '복심'들을 배치하고 있다. 대통령실 1부속실장에 내정된 김남준 전 당대표 정무부실장, 의전비서관의 권혁기 당대표 정무기획실장, 인사비서관의 김용채 전 보좌관 등이 대표적이다. 원외에서 이 후보를 후방지원한 더민주전국혁신회의 핵심인물들도 이재명 정부에서 주요 역할을 할 것으로 보인다. 윤용조 혁신회의 집행위원장은 대통령 국가안보실 비서관으로 배치될 가능성이 크다. 강위원 혁신회의 상임고문은 전남 경제부지사에 내정된 것으로 확인됐다. 내년 지방선거를 앞두고 새 정부와 더 긴밀히 호흡을 맞출 수 있는 점을 고려한 것으로 보인다. heyjin@newspim.com 2025-06-11 17:10
안다쇼핑
Top으로 이동