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[고영화의 중국 반도체] <5> 中 노광기 국산화, 반도체 굴기 '사활' <中>

기사입력 : 2022년08월22일 10:49

최종수정 : 2022년08월22일 17:32

<上편에서 이어짐>

◆ 중국의 ASML '상하이마이크로'(SMEE)

중국의 반도체 노광기 개발의 역사는 1980년대까지 올라간다.

중덴커(中电科, 중국전자기술그룹, CETC)제45연구소(第四十五研究所)는 1958년 텐진전자관공장(天津电子管厂)으로 출범한 이후, 1975년 반도체전용장비연구소(半导体专用设备研究所)로 명칭을 변경했다. 1986년부터 '863국가고기술연구발전계획'(国家高技术研究发展计划)에 따른 100여가지 국책연구과제를 수행하면서, 1.5, 0.8, 0.5μm 노광기를 연구하고, 2001년 100nm 노광기 개발에 성공했다.

2002년 국무원 국유자산관리위 100% 소유 중덴커의 자회사로 편입되면서, 반도체 후공정 장비, 신형 FPD(Flat Panel Display) 장비, 태양전지 장비 개발로 전략을 바꾸고, 기존의 반도체 제조 노광기 관련 사업을 상하이마이크로고정밀기계공정(Nanpre)와 상하이마이크로(SMEE)에 넘긴다. 2010년에 다시 "베이징반도체전용장비연구소(北京半导体专用设备研究所)"의 역할을 부여 받아 수행 중이다.

상하이마이크로고정밀기계공정(上海微高精密机械工程, Nanpre Mechanics, 비상장)은 2003년 제45연구소(지분 70%)와 상하이마이크로(지분 30%)가 공동 설립했다. 제45연구소로부터 기술을 이전 받아 90nm 노광기 연구를 일부 수행하였고, 특히 중고 노광기 리노베이션 사업부문은 니콘의 노광기를 누적 100대 이상 리노베이션하는데 성공하였다. 이런 경험은 상하이마이크로가 2018년 90nm노광기 개발을 성공시키는데 밑거름이 되었다. 

상하이마이크로전자(上海微电子, SMEE, 비상장)는 중국 유일의 노광기 개발기업으로서, 2003년 상하이전기그룹(지분 32.09%)을 대주주로 하는 상하이시 국유기업으로 설립되었다. 전공정·후공정·LED·FPD 용 노광기를 생산하고 있으며, 2020년에 이미 중국 후공정 (패키징) 노광기 시장점유율 80%를 차지했다.

2003년 설립 당시 중덴커45연구소로부터 기술을 이전 받아, 2009년 중국 최초 2μm 노광기를 상용 출시한 이후, 2013년에는 AMOLED 노광기를 개발했다. 이어 2018년에는 반도체 제조용 90nm ArF DUV 노광기(모델명 SSA600/20)를 개발 완료했다.

2021년 9월에는 중국 정부의 후공정 2.5D/3D SiP(System in Package) 패키징 강화 정책에 따라 대면적 후공정 노광기(모델명 SSB520)를 개발했는데, 해상도 0.8μm(최대 0.6μm), 오차 ≤100nm, 노광 면적 53mm×66mm(반도체 전공정 노광기의 4배)와 60mm×60mm를 지원하는 성능을 가졌다.

특히 2016년부터는 중국 국가정책과제의 일환으로 28nm ArFi DUV 액침노광기(모델명: SSA800/10W)를 개발 중이다. 

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = 상하이마이크로(SMEE) 노광기 제품 라인업 (출처: 팡정증권(方正证券), 2020.6). 2022.08.22 chk@newspim.com

◆ '10년에 칼 한자루' 목표, 28nm 노광기 개발 총력

7~5nm 급 EUV 를 개발하기 위해서는 일단 28nm 급 ArFi DUV액침노광기를 먼저 성공시켜야만 한다.

액침노광기는 굴절율이 1인 공기에 비해, 굴절률이 1.44로 큰 초순수(Pure Water)를 활용해, 노광기의 대물랜즈와 웨이퍼 사이에 얇은 수막을 만들어, 빛을 한번 더 굴절시켜 해상력을 높이는 액침(immersion) 기술을 활용한다. 그래서 이 기술을 ArF(불화아르곤) 광원의 이름에 액침의 'i'를 더해 'ArFi' 기술이라고 부른다.

상하이마이크로는 이미 90nm DUV 노광기 기술이 있으므로 업그레이드를 통해 45nm 해상도를 갖게 하고, 여기에 액침기술을 통해 해상도를 1.44배 높이면 28nm 해상도의 ArFi DUV 액침노광기가 만들어지는 것이다.

중국 정부는 '국가중장기과학및기술반정규획요강(国家中长期科学和技术发展规划纲要)(2006-2020)'에 따라 중국과기부가 주관하는 '국가중점연구계획'(国家重点研发计划)의 16대(大) 과제 중, 두번째인 '02전문프로젝트' 를 VLSI반도체 제조장비 및 공정세트 개발로 정하고, ArFi 액침노광기 기술개발 프로젝트를 본 계획의 일부로 포함시켜 적극 지원하고 있다.

상하이마이크로의 28nm ArFi DUV 노광기(모델명: SSA800/10W) 개발의 기술 표준은 ASML의 TWINSCAN NXT:2000i 모델 수준으로 정하고, 효과적인 개발을 위해 여러 기업간 분업체제를 도입했다.

현재 △상하이마이크로(SMEE): 노광기 설계 및 시스템 조립 △화궈정과(U-Pression): 노광기 듀얼 마운트 △커이홍위안(RSLaser): 노광기 광원 △궈커정밀(CNEPO): 노광기 광학시스템 △궈왕광학: 노광기 대물렌즈 모듈 △치얼기전(CHEER): 노광기 액침(Immersion) 시스템 △ 동팡징위안(DJEL): 노광 최적화 소프트웨어 등 모두 7개사가 참여하고 있다.

이가운데 화줘정과(华卓精科, U-Precision, 834733.OC)는 칭화대 출신 창업자들이 2012년 5월 베이징에 설립했다. 28nm 노광기 듀얼 마운트 개발을 책임지고 있고, 이외에 초정밀 위치추적 플랫폼, 고성능 방진 시스템, 레이저 급속 풀림(열처리) 장비, 정전기 원반(PVD, CVD, ETCH, ALD 용) 등 제품도 개발한다.

◆ 인해전술식 노광기 개발

커이홍웬(科益虹源, RSLaser, 비상장)은 중국과기원광전연구원(中国科学院光电院) 등이 투자한 국유기업으로서, 2016년 7월 베이징에 설립되었다. 중국에서 유일하고, 세계에도 오직 3사만이 보유한, 고출력 엑시머 레이저(Excimer Laser) 기술을 가지고 있으며, 28nm 노광기 광원을 담당하고 있다.

궈커정밀광학(国科精密光学, CNEPO, 비상장)은 중국과학원장춘광학기계연구소가2014년 8월 창춘에 설립했다. 90nm 노광기 광학시스템을 개발한 바 있고, 현재는 28nm노광기 광학시스템을 담당한다. 자외선 탐측 광학모듈, 첨단 광학 탐측 렌즈 등 기술 및 제품도 보유하고 있다.  <下편에 계속>

베이징= 최헌규 특파원 chk@newspim.com

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뉴욕을 뒤흔든 맘다니 돌풍 [뉴욕=뉴스핌]김근철 특파원= "빨리 뉴욕에 파트타임 일자리라도 알아봐야 할 것 같아요." 지난 주말 뉴욕 인근에 사는 지인들과의 모임 도중 나온 얘기다. 이날 저녁 자리 화제의 중심은 단연 '민주당 뉴욕 시장 후보 조란 맘다니'였다.'뉴욕 파트타임' 얘기도 맘다니 덕분에 나온 농담이다. 맘다니는 자신이 시장에 당선되면 뉴욕의 최저 임금을 시간당 30달러로 올릴 것이라고 약속했다. 지금 환율로 따지면 4만 600원 정도다. 현재 뉴욕의 최저 임금 시급은 16.50달러다. 이미 미국 내 최고 수준이다. 그런 뉴욕 최저 임금을 2배로 올리겠다는 얘기다. 물론 2030년까지라는 전제는 달렸다. 그렇다 하더라도 귀가 솔깃해질 만한 공약임은 분명하다. 비단 이날 모임뿐 아니다. 요즘 '뉴요커'들 사이에서 맘다니는 최고의 뉴스메이커다. 어디서든, 누구와든 맘다니 얘기를 꺼내면 10분~20분은 쉽게 대화를 나눌 수 있다. 그만큼 맘다니의 등장 자체가 뉴욕 사람들에게도 충격이자 파격이다. 조란 맘다니 미국 민주당 뉴욕시장 후보. [사진=로이터 뉴스핌] 뉴욕 시장 자리는 한국으로 치면 거의 서울 시장급이다. 뉴욕은 미국의 최대 도시이자, 전 세계에서 사람과 돈이 가장 많이 몰려드는 중심지다.  이런 뉴욕의 유력한 차기 시장 후보가 불과 33세라니. 그것도 아프리카 우간다에서 태어나 7세 때 뉴욕으로 이민 온 인도계 무슬림이다. 더구나 그는 26살이 되던 2018년에야 뒤늦게 미국 시민권을 취득하고 투표권을 받았다. 맘다니가 하버드 같은 아이비리그의 명문대를 졸업한 것도 아니다.  그는 평범한 학창 시절을 보내고 대학 졸업 후 저소득층 주택 압류 방지 상담사로 활동했다. 그러다가 2020년 뉴욕 주의회 하원의원 선거에 민주당 후보로 나서 선출된 것이 사회 경력의 전부다. 시쳇말로 '듣보잡' 수준이다. 예전 같았으면 뉴욕 시장 후보에 명함도 못 내밀 커리어다. 그런 맘다니가 불과 몇 개월의 선거 운동으로 민주당의 뉴욕 시장 후보가 됐다는 것은 믿기지 않는 스토리다.  그것도 뉴욕 주지사 3선에, 한때 차기 대선 후보 물망에 올랐고, 당내 유력 인사와 후원 그룹의 지원을 받는 '거물' 앤드루 쿠오모를 꺾었다. 그야말로 이변이 일어난 것이다. 민주당 전략가 트립 양은 뉴욕타임스(NYT)에 "현대 뉴욕시 역사에서 가장 큰 반전이 일어났다"고 평가했을 정도다. 맘다니는 1일 발표된 민주당 3차 경선 결과 과반이 넘는 56%를 득표했다. 이로써 그는 당당히 민주당의 뉴욕 시장 후보로 공식 선출됐다. 뉴욕은 아직도 민주당의 아성으로 불린다. 민주당 후보 공천은 뉴욕 시장 당선의 보증수표처럼 여겨진다. 뉴욕타임스(NYT)를 비롯한 미국 언론들의 관심은 이제 '맘다니 돌풍'이 과연 어디까지 이어질지에 모아진다. 숱한 전문가들은 아직 맘다니의 본선 경쟁력에 의문을 거두지 못하는 분위기다. 맘다니의 민주당 경선 승리의 발판이 됐던 급진적인 공약들이 결국 부메랑이 돼서 발목을 잡을 것이란 분석이 많다.  맘다니가 내세운 핵심 공약은 실제로 급진 좌파 성향의 포퓰리즘 정책으로 불릴 만하다. 시내버스 무임승차, 0세부터 5세까지 무료 보육 및 유치원 교육 실시, 뉴욕시 관리 아파트 임대료 동결, 값싼 시립 식료품점 설립, 부자 증세 등이 그것이다. 구체적 재정 대책이 없다는 질타와 비판이 나올 만하다. 게다가 맘다니는 학창 시절부터 팔레스타인을 지지하는 운동에 가담했다. 뉴욕과 민주당의 돈줄을 쥔 유대인들의 거부감도 크다.  민주당 주류와 온건그룹에선 벌써 부담스러운 티를 낸다. 너무 과격해서 중도층 이탈을 야기할 것이란 우려의 목소리를 낸다. 그래서 민주당을 지지하는 월가의 큰손들은 이미 온건 성향의 대항마를 찾고 있는 것으로 알려졌다. 당내 경선에서 패배했던 쿠오모 전지사나 경선에서 중도 사퇴한 에릭 애덤스 뉴욕 시장이 독립 출마 형태로 시장 선거에 나서려는 것과도 이와 연결돼 있다. 도널드 트럼프 대통령도 일찌감치 맘다니를 '100% 공산주의자 미친 놈'이라고 부르며 파상 공세를 퍼붓는 중이다.  급진 좌파 프레임을 씌워 민주당 전체를 싸잡아 비판하려는 의도도 깔려있다. 트럼프와 공화당은 색깔론 공세에 더해 민주당 측 후보 난립을 잘 이용하면 뉴욕 시장까지 손에 쥘 수 있겠다는 기대도 하고 있는 눈치다.  지하철에 탑승한 조란 맘다니 미국 민주당 뉴욕 시장 후보. [사진=로이터 뉴스핌] 이런 정치판의 셈법과 보도를 따라가다 보면 '맘다니가 11월 4일 선거에서 뉴욕 시장에 당선되기는 힘들겠구나' 하는 생각도 든다. 최근에 월가 금융기관에서 오래 기간 일했던 지인을 만난 자리에서도 '만다니의 한계'에 대해 얘기를 나눴다. 하지만 그의 견해는 좀 달랐다. 자신의 사무실에 근무하는 한 직원 때문에 생각이 바뀌었다고 한다. 그 직원은 줄곧 보수 성향을 보여왔고 지난 대선에서도 트럼프를 열렬히 지지했다고 한다. 그런 사람이 이번에 민주당 경선에 참여해 맘다니에게 표를 던졌다. 이유를 물으니, "뉴욕에서 사는 게 너무 힘들다. 물가가 미쳤다. 부자들은 상관없겠지만 우리 같은 단순 사무직은 열심히 일해도 렌트비, 교통비, 식료품비 내기에도 너무 벅차다. 내게 이념은 크게 상관없고, 누구라도 이 힘든 생활에 도움을 준다면 표를 안 찍을 이유가 없다"라는 답이 돌아왔다고 한다. 이 말을 들으니 맘다니의 공식 홈페이지 첫 화면에 큼직하게 적힌 슬로건이 새삼 머릿속에 다시 선명히 떠올랐다. "조란 맘다니는 뉴욕의 근로자들의 생활비를 낮추기 위해 시장직에 도전하고 있습니다"였다. 맘다니는 얼마전 NBC 방송의 간판 시사 프로그램 '미트 더 프레스'에 출연해 자신을 공산주의자라고 공격한 트럼프의 언급에 "나는 공산주의자가 아니다."라고 반박했다. 그리고는 "나는 트럼프가 힘을 실어주겠다고 대선 운동 기간 약속했던 바로 그 노동자들을 위해 싸우고 있다. 트럼프 대통령은 이후 그들을 배신해왔다"라고 말했다. '빨갱이 프레임'을 씌우는 트럼프에게 시원하게 한 방 먹이면서 자신이 노동자들을 위한 진짜 일꾼임을 드러내는 패기와 영리함이 번뜩이는 발언이다. 그래서 맘다니가 이념 프레임의 덫에 갇히지 않고, 뉴욕 시민의 민생과 민심을 파고드는데 성공한다면 '정말 큰일을 낼 수도 있겠다'는 생각도 든다. 그건 그가 뉴욕 시장에 당선된다는 의미만이 아니다. 인류 역사상 가장 풍요롭다는 21세기에도 팍팍안 일상을 견뎌내야 하는 노동자 계층과 밀레니얼 세대들에게 과거의 이념과 정치적 문법의 약발이 먹히지 않는다는 점을 확인시켜줄 '사건'이 될 수 있다.  맘다니 열풍과 논란이 뉴욕의 일회성 정치 이벤트로 그치지 않고 앞으로도 계속 증폭되고 변모하면서 확산될 것이란 예감이 드는 이유다.   kckim100@newspim.com 2025-07-03 04:16
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트럼프 "머스크 추방도 검토" [서울=뉴스핌] 고인원 기자= 도널드 트럼프 미국 대통령이 기자들에게 "(일론) 머스크의 추방 문제도 고민해보겠다"고 발언하며, 두 사람 간 갈등이 또 한 번 수위를 높였다. 일론 머스크 테슬라 최고경영자(CEO)가 트럼프의 감세·재정 법안을 비판한 데 이어, 트럼프는 머스크의 정부 보조금과 계약에 대한 전수조사와 함께 추방 가능성까지 언급해 정치적·법적 논란이 확산되고 있다. 트럼프는 1일(현지시간) 백악관 앞에서 기자들과 만난 자리에서 "머스크를 추방할 수 있느냐"는 질문에 "모르겠다. 한번 살펴보겠다(I don't know, we'll have to take a look)"고 답했다. 그는 이어 "머스크는 많은 보조금을 받았으며, 전기촤 의무화 폐지에 매우 화가난 듯 하다"고 덧붙였다. 도널드 트럼프 미국 대통령과 일론 머스크 테슬라 최고경영자(CEO).[사진=로이터 뉴스핌] 2025.06.21 mj72284@newspim.com 트럼프는 전기차 강제 규정을 "바이든 시대의 유산"으로 규정하고 폐지를 추진 중이다. 그는 "나는 전기차를 원하지 않는다. 휘발유도, 하이브리드도, 언젠가는 수소차도 원할 수 있다"며 "다만 수소차는 터지면 5블록 떨어진 데서 시신을 찾는다"고 비꼬기도 했다. 트럼프의 '추방' 발언이 담긴 클립이 퍼지자, 머스크는 X(옛 트위터)에 "이걸 더 키우고 싶어 죽겠지만, 지금은 참겠다"고 의미심장한 글을 올렸다. 이 논란은 머스크가 트럼프의 '크고 아름다운 하나의 법안 법(OBBBA)'을 "완전히 미치고 파괴적 법안"이라며 비판한 데서 촉발됐다. 트럼프는 이에 대해 "머스크는 역사상 가장 많은 보조금을 받은 사람"이라며, 정부효율성부(DOGE)가 머스크의 보조금 수혜 내역을 조사할 필요가 있다고 응수했다. 이어 트럼프는 "보조금이 없으면 로켓 발사도, 전기차 생산도 못할 것"이라고 몰아세웠다. 전문가들은 연방정부의 보조금·계약 중단이나 규제 강화 가능성을 주목하고 있으며, 이는 테슬라와 스페이스X의 사업에 실질적인 타격으로 이어질 여지가 있다고 지적한다. 머스크는 세금안 반대뿐 아니라 "새로운 정당(America Party)을 만들겠다"고 맞불을 놓으며 대선 기간부터 이어온 트럼프와 머스크 간 '브로맨스'가 균열 조짐을 보이고 있다. koinwon@newspim.com 2025-07-01 22:23
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