-유출여부 및 냄새원인 확인 중
[뉴스핌=김양섭 기자] 삼성전자 화성반도체 공장에서 25일 오후 3시 55분경 암모니아 냄새가 난다는 직원들의 신고로 작업자 4명이 사내병원에서 진료를 받았다.
삼성전자 관계자는 "화성사업장 10/11라인(동일건물) 장비반 입구에서 협력사 직원 4명이 암모니아로 추정되는 냄새를 인지 후 사내 부속병원에서 검진을 받았다"며 "진단결과 직원 3명은 이상이 없었으며 1명은 과거 심근 경색 진단이력이 있어 직원의 안전을 위해 추가 검진 실시 중"이라고 사고 경위를 밝혔다.
화성 반도체공장 11라인은 올해 1월과 5월에 각각 불산가스가 누출되는 사고가 발생했던 곳이다.
삼성전자 측은 "암모니아 유출여부 및 냄새원인은 추가 확인 중"이라고 설명했다.
암모니아는 반도체 공정 중 웨이퍼를 씻는 세정공정과, 불필요한 부분을 깎아내는 식각 공정, 그리고 폐수처리 공정에 쓰인다. 세정공정에는 액체상태로, 식각공정에는 기체상태로 사용되며 유해화학물질로 분류돼 있다.
농도에 따라 피부에 접촉할 경우 피부 조직이 손상될 수 있으며 기화된 암모니아를 마실 경우 후두부 경련, 후두염, 기관지염 등을 일으킨다. 장기간 노출될 경우는 눈, 간, 신장 또는 허파의 손상을 일으키기도 한다. 물과 접촉할 경우 폭발의 위험성이 있다.
한편, 이번 암모니아 냄새가 유출 사고로 판명될 경우 삼성전자 반도체 공장에 사고가 난 것은 올해 들어 4번째가 된다.
전날에는 기흥사업장 3라인(LED 생산라인) 옥상 배기구에서 화재가 발생, 생산라인 가동이 9시간 가량 중단된 바 있다.
앞서 지난 1월과 5월에는 두 차례에 걸쳐 불산 누출 사고가 발생했다.
[뉴스핌 Newspim] 김양섭 기자 (ssup825@naver.com)