[뉴스핌=김민정 기자] 탑엔지니어링은 척 구조체 및 이를 이용한 반도체 기판 처리 장치에 대한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.
회사 측은 "증착 장비의 경쟁력 강화에 활용할 예정"이라고 덧붙였다.
[뉴스핌 Newspim] 김민정 기자 (mj72284@newspim.com)
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회사 측은 "증착 장비의 경쟁력 강화에 활용할 예정"이라고 덧붙였다.
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