[뉴스핌=김현기 기자] 테스는 플라즈마 처리장치 특허를 취득했다고 11일 공시했다.
회사 관계자는 "이번 특허는 비정질탄소막(ACL)을 이용한 반도체 장비에 적용되는 특허 기술"이라며 " 신규 제품 개발 시 적용해 제품경쟁력을 강화하는 데 활용할 계획"이라고 덧붙였다.
[뉴스핌 Newspim] 김현기 기자 (henrykim@newspim.com)
[뉴스핌=김현기 기자] 테스는 플라즈마 처리장치 특허를 취득했다고 11일 공시했다.
회사 관계자는 "이번 특허는 비정질탄소막(ACL)을 이용한 반도체 장비에 적용되는 특허 기술"이라며 " 신규 제품 개발 시 적용해 제품경쟁력을 강화하는 데 활용할 계획"이라고 덧붙였다.
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