[뉴스핌=김동호 기자] 테스(대표 주숭일)는 지식경제부로부터 20nm급 및 450mm 반도체 공정용 차세대 반도체 장비 개발을 위한 우수제조기술연구센터(ATC)로 지정됐다고 11일 밝혔다.
이에 따라 테스는 20nm급 및 450mm 반도체 공정용 차세대 PECVD ACL장비 개발 과제를 수행하게 된다.
이는 업계 최초의 ACL(비정질탄소막) 반도체 증착장비 연구과제다.
개발기간은 오는 2015년 4월까지로, 과제수행 4년간 총 56억원의 연구개발비를 투자하며 이중 정부지원금은 28억원을 받을 예정이다.
회사측은 이번 과제선정을 통해 공정 미세화 및 대구경(450mm) 반도체 공정에 대응이 가능한 PECVD ACL장비 개발에 박차를 가해 향후 양산화를 통한 회사의 주력제품으로 육성할 계획이다.
회사 관계자는 “반도체 기술 트렌드의 핵심인 공정미세화 및 대구경화에 대응되는 장비 수요가 향후 확대될 것으로 예상된다”며 “ATC과제와 연계하여 시장 및 고객의 요구에 부합되는 장비개발을 통해 기술리더십 강화 및 신성장동력 확보가 기대된다”고 말했다.
우수제조기술연구센터(ATC)는 지식경제부가 지원하는 대표적인 연구지원사업으로, 세계일류상품 개발촉진 및 세계적인 기술잠재력을 보유한 기업부설연구소를 선정해 기술혁신 및 국제경쟁력 확보를 목표로 기술개발자금 등을 지원 육성하고 있다.
이에 따라 테스는 20nm급 및 450mm 반도체 공정용 차세대 PECVD ACL장비 개발 과제를 수행하게 된다.
이는 업계 최초의 ACL(비정질탄소막) 반도체 증착장비 연구과제다.
개발기간은 오는 2015년 4월까지로, 과제수행 4년간 총 56억원의 연구개발비를 투자하며 이중 정부지원금은 28억원을 받을 예정이다.
회사측은 이번 과제선정을 통해 공정 미세화 및 대구경(450mm) 반도체 공정에 대응이 가능한 PECVD ACL장비 개발에 박차를 가해 향후 양산화를 통한 회사의 주력제품으로 육성할 계획이다.
회사 관계자는 “반도체 기술 트렌드의 핵심인 공정미세화 및 대구경화에 대응되는 장비 수요가 향후 확대될 것으로 예상된다”며 “ATC과제와 연계하여 시장 및 고객의 요구에 부합되는 장비개발을 통해 기술리더십 강화 및 신성장동력 확보가 기대된다”고 말했다.
우수제조기술연구센터(ATC)는 지식경제부가 지원하는 대표적인 연구지원사업으로, 세계일류상품 개발촉진 및 세계적인 기술잠재력을 보유한 기업부설연구소를 선정해 기술혁신 및 국제경쟁력 확보를 목표로 기술개발자금 등을 지원 육성하고 있다.