그린광학, HBM 검사장비에 초정밀 광학렌즈 공급

기사입력 : 2026년05월21일 09:46

최종수정 : 2026년05월21일 09:46

글로벌 반도체 탑티어 기업 HBM 양산 라인 진입

[서울=뉴스핌] 양태훈 기자 = 그린광학이 국내 반도체 전·후공정 검사장비 전문기업의 고대역폭메모리(HBM) 패키징 검사장비에 초정밀 광학렌즈를 공급 중이라고 21일 밝혔다.

그린광학의 광학렌즈가 탑재된 검사장비는 글로벌 반도체 기업의 HBM 양산 라인에 공급되고 있다. 해당 장비는 고단 적층 구조의 HBM 공정에서 초미세 결함을 검출해 수율 개선을 지원한다.

그린광학이 광학렌즈를 공급하는 파트너사는 웨이퍼 미세 결함 검사, 3D 적층 구조 검사, 첨단 패키징 공정 검사 분야의 국내 반도체 검사장비 기업이다. 해당 파트너사는 HBM·3D NAND·차세대 패키징 등 고난도 공정의 초미세 결함 검출 장비 라인업을 확대하고 있다.

그린광학은 우주 위성용 탑재체 거울 및 방산용 정밀 광학계 분야에서 축적한 기술력을 바탕으로 반도체 분야까지 포트폴리오를 확장했다.

그린광학 관계자는 "이미 양산 장비 탑재를 통해 실질적인 매출이 발생하기 시작했다"고 말했다.

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