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이 기사는 AI 번역에 기반해 생산된 콘텐츠로 중국 유력 경제매체 이차이 글로벌(YICAI GLOBAL)의 5월 12일자 기사를 인용했다.

[서울=뉴스핌] 배상희 기자 = 상하이 인공지능연구소(Shanghai Artificial Intelligence Laboratory)와 여러 연구 파트너가 반도체 제조에 사용되는 핵심 소재인 크립톤 플루오라이드(KrF) 포토레지스트 수지의 안정적 생산에 성공하는 성과를 거두었으며, 이는 중국의 고급 포토레지스트 수입 의존도를 낮출 수 있는 돌파구가 될 전망이다.

상하이 인공지능연구소는 샤먼대학교(Xiamen University), 쑤저우국가연구소(Suzhou National Laboratory)와 공동으로 구성한 연구팀이 고순도·고일관성·고효율의 KrF 포토레지스트 수지를 생산할 수 있는 AI 기반 지능형 합성 플랫폼을 개발했다고 전일 밝혔다. 해당 기술은 중국 반도체 산업의 공급 제약을 완화하고 소재 비용을 낮추는 데 기여할 것으로 기대된다.

포토레지스트는 칩 식각 공정에서 실리콘 웨이퍼를 코팅하고 빛을 차단해 설계된 회로 패턴을 형성하는 데 사용되는 소재다. 성명에 따르면 고급 포토레지스트 시장은 오랜 기간 일본, 유럽, 미국 기업들이 지배해 왔으며, 이로 인해 중국 반도체 산업은 수입 의존도가 높은 구조를 유지해 왔다.

연구팀은 해당 플랫폼이 상하이 인공지능연구소가 개발한 과학 멀티모달 모델 Intern-S1을 기반으로 한다고 설명했다. 이 시스템은 실험 계획을 독립적으로 생성하고, 매개변수를 최적화하며, 결과를 예측할 수 있어 연구개발 효율을 크게 향상시킨다.

전통적인 수지 소재 개발은 연구자들의 수작업 시행착오 기반 선별에 크게 의존해 왔으며, 이로 인해 개발 주기가 길고 작업 일관성이 떨어져 반도체 산업이 요구하는 엄격한 배치 안정성을 충족하기 어려운 문제가 있었다.

해당 플랫폼은 또한 물리적 실행 능력을 갖추고 있어 여러 반응기와 작업 스테이션을 자동으로 제어하며 폐쇄형 공정으로 실험을 완료할 수 있다. 이를 통해 수작업 과정에서 발생할 수 있는 산소, 수증기, 금속 불순물에 의한 오염을 방지해 안정적인 수지 품질을 확보할 수 있다.

상용화를 가속하기 위해 연구팀은 중국 반도체 소재 기업 헝쿤신소재기술(Hengkun New Materials Technology)과 협력해 포토레지스트 수지 조성 개발을 진행했다. 주요 제품 성능 지표는 기대 목표에 도달했으며, 해당 소재는 다음 단계로 고객 검증 절차에 진입할 예정이라고 연구소는 덧붙였다.

pxx17@newspim.com