이 기사는 1월 14일 오전 11시55분 AI가 분석하는 투자서비스 '뉴스핌 라씨로'에 먼저 출고됐습니다.

[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체 설비·소재업체 에프에스티(FST)가 차세대 기술로 주목받는 탄소나노튜브(CNT) 기반 극자외선(EUV) 펠리클(Pellicle) 시제품 생산을 앞두고 본격적인 장비 셋업(set up)을 진행하고 있다. 반도체 공정의 미세화·고집적화 추세로 EUV 도입이 점차 확대되면서 에프에스티는 EUV 펠리클 상용화에 속도를 낸다.

EUV 펠리클은 반도체 공정에서 포토마스크를 먼지나 이물질로부터 보호하는 덮개 역할을 한다. EUV 공정은 반도체의 소형화와 첨단화를 가능하게 하는 핵심 기술로, 노광 공정에서 마스크의 오염을 최소화해 공정 수율을 높이는 것이 필수적이다. 이에 따라 EUV 펠리클의 성능이 반도체 제조 공정의 경쟁력을 좌우할 중요한 요소로 떠오르고 있다.

회사 관계자는 14일 "현재 관련 제품 개발을 진행 중으로 이달 말 시양산 시설이 완료 돼, 시제품들이 나오기 시작할 예정이다"며 "고객사에 시제품을 납품해 추가 테스트를 거쳐 최종적 제품에 대한 결과물을 도출할 계획이다"고 설명했다.

최근 삼성전자, 대만 TSMC, 미국 인텔 등 주요 반도체 기업은 2나노미터(nm·10억분의 1m) 공정을 적용한 반도체 생산을 본격화하고 있다. 반도체 공정의 미세화 가속화되면서, 펠리클 성능 향상은 공정 경쟁력의 핵심 과제로 부상 중이다. 

현재 글로벌 시장에서 1세대 EUV 펠리클은 일본 '미쓰이화학'이 독점하고 있다. 미쓰이화학은 메탈실리사이드 기반의 1세대 제품으로 시장을 장악한데 이어, 탄소나노튜브(CNT) 소재를 활용한 2세대 펠리클 개발 및 양산에 나서고 있다. 1세대 펠리클은 실리콘을 기반으로 했으나, 2세대 펠리클은 투과율과 생산 용이성을 동시에 만족시키는 CNT 기반으로 개발 중이다. 국내에서는 에프에스티를 비롯해 에스앤에스텍 등이 2세대 EUV 펠리클의 국산화와 양산화를 목표로 개발을 주도하고 있다.

에프에스티의 EUV 펠리클 내구성은 600와트(W)가 넘는 강한 전력을 가졌으며, 빛의 투과율이 95% 정도 업그레이드된 사양을 갖추고 있다. 시장에서는 에프에스티의 EUV 펠리클 양산이 본격화되면, 실적에도 큰 폭의 성장이 있을 것으로 전망한다. CTT리서치에 따르면 EUV 펠리클의 가격은 2000만~3000만원 수준으로 ArF 펠리클 대비 50배를 넘는 고가다. EUV펠리클 신규 수요와 공급가를 장당 1000만원으로 가정하면 연간 1500억의 신규 매출이 발생할 것으로 보고 있다.

에프에스티는 증가하는 수요에 대응하기 위해 생산능력(CAPA·캐파) 확보에도 나서고 있다. 앞서 에프에스티는 지난 2023년 11월 펠리클 캐파 확대를 위해 284억원 신규 시설 투자를 공시했으며, 투자기간은 올해 1월까지다.

회사 관계자는 "현재 공장 가동률은 약 90% 이상을 기록 중이다. 펠리클 확장성을 위해 캐파 투자를 진행했다"며 "안정적인 생산 시설을 확보하면서 추가된 캐파를 활용해 매출 확대를 이어갈 계획이다"고 밝혔다.

에프에스티 지난해 연결기준 3분기 누적 매출 1430억원, 영업 손실 6억원을 기록했다. 구체적으로 펠리클 사업부의 재료사업은 전체 매출 51%(약 825억원), 칠러 및 반도체 공정 장비 사업부의 장비사업은 47%(755억원) 비중을 각각 차지하고 있다. 기타 부문(임대수입 등)은 0.78%(약 12억원)를 차지한다.

특히, 에프에스티는 지난해에 창사 이래 펠리클 부문 최대 매출을 달성했다. 고부가가치 제품 판매 증가, 중화권 매출 확대, 고객사 가동률 안정화 등이 매출 상승의 주요 요인으로 꼽힌다. 회사 관계자는 "전년도에 펠리클에서는 창사 이래 최대 매출인 900억원 이상 달성됐다"며 "올해 역시 펠리클에 대한 지속 성장을 기대한다"고 설명했다.

한편, 에프에스티는 올해 중화권 시장에서 고객 확대가 기대되고 있다. 국제반도체장비재료협회(SEMI)의 최근 보고서에 따르면, 중국은 향후 3년간 반도체 제조 장비 투자 규모가 1000억달러(147조원)를 넘어설 것으로 전망했다. 이는 글로벌 전체 장비 투자의 4분의 1에 해당하는 규모다. 중국이 사상 최대 규모의 반도체 장비 투자를 단행할 것이라는 전망이 나오면서 에프에스티의 수혜를 기대한다.

nylee54@newspim.com