[뉴스핌 라씨로] 예스티, '고압 수소 어닐링 장비' 상용화 '속도'..."품질 평가 막바지 단계, 내년 본격 양산"

기사입력 : 2024년07월04일 17:50

최종수정 : 2024년07월05일 11:08

HBM 장비 수주 증가에 올해 역대 최대 실적 전망

이 기사는 6월 28일 오전 10시07분 AI가 분석하는 투자서비스 '뉴스핌 라씨로'에 먼저 출고됐습니다.

[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체 장비 전문기업 '예스티'의 고압 수소 어닐링 장비 품질 평가가 막바지 단계에 진입했다. 예스티가 장비 상용화에 속도를 내고 있는 '고압 수소 어닐링 장비'는 지난해 경쟁사로부터 특허소송이 제기돼, 현재 특허 분쟁도 진행 중이다. 하반기 판결을 앞두고 있는 가운데 해당 시장이 독점에서 이원화 체계로 변할 수 있을지 시장의 관심이 쏠리고 있다.

예스티 관계자는 28일 "고압 수소 어닐링 장비 막바지 평가가 진행되고 있다. 3분기 내 평가가 완료될 것으로 보고 있다"며 "평가 완료 후, 본격적인 수주 및 양산은 내년으로 예상한다"고 말했다.

고압 수소 어닐링 장비는 반도체 산화 공정에서 발생하는 웨이퍼 실리콘(Si) 표면 결함을 중수소 또는 수소로 치환해 표면의 특성과 수율을 향상시키는 장비다. 기존 고압 어닐링 장비는 1회에 최대 75매까지 반도체 웨이퍼 처리가 가능한데, 예스티는 자체 고온· 고압 기술을 활용해 동시에 125매의 웨이퍼를 처리할 수 있다. 반도체 웨이퍼의 생산성을 약 60% 향상시키는 특징을 지녔다.

지난 2021년부터 개발해온 예스티의 '고압 수소 어닐링' 장비는 2022년 12월 개발 완료 후, 글로벌 반도체 기업 고객사들과 데모 및 양산 테스트를 진행해오며 상용화에 속도를 내고 있다. 다만 관련 특허기술을 보유한 반도체 장비 기업 'HPSP'로부터 기술 침해를 이유로 특허소송이 제기 돼, 현재 특허 분쟁이 진행 중이다.

그동안 고압 어닐링 장비는 HPSP가 독점해왔다. 지난해 9월, HPSP가 해당 제품에 대한 자사의 특허를 침해했다며 소송을 진행했고, 예스티는 소극적 권리범위확인 심판, 무효심판을 제기하면서 대응에 나섰다. 예스티는 HPSP의 특허와 관계없는 기술이라는 심판을 청구하고 특허 자체를 무력화하는 두 가지 심판을 동시에 제기한 것이다.

예스티가 신청한 '무효심판'과 '소극심판' 구술 심리는 오는 7월에 열린다. 이번 판결로 인해 독점적 지위를 유지하고 있는 고압 어닐링 장비 시장의 향후 방향이 달렸다는 점에서 주목받고 있다. 예스티가 승소하면 사실상 독점 체제가 깨지면서 관련 시장이 이원화 구도로 진입하게 된다.

예스티 관계자는 "구술 심리 모두 7월에 일정이 잡혀 있기에 이후에 판결이 나올 것으로 본다. 경쟁사와 회사 모두가 주관적인 입장이기에 각자 좋은 방향으로 보고 있을 것이다"고 밝혔다.

2000년 설립된 예스티는 지난 2015년 코스닥 시장에 상장했다. 칠러, 가압큐어, 퍼니스 등 반도체·디스플레이 장비와 히팅자켓, 클린후드 등 반도체공정 인프라 부품을 생산하고 있다. 예스티는 지난해 고대역폭메모리(HBM) 제조 공장에서 사용되는 핵심장비 3종류(웨이퍼 가압설비·EDS 칠러·EDS 퍼니스) 모두를 생산하는 능력을 보유하면서 품목 다변화에 성공했다. 지난해 반도체 불황에도 생성형 인공지능(AI) 시장 확대에 고성능 메모리로 급부상한 'HBM' 수요가 늘면서 꾸준한 매출 성장세를 이어오고 있다.

실제 예스티는 지난 3일 삼성전자와 60억원 규모의 HBM 제조용 가압 장비 공급 계약을 체결하는 등 지난해 10월부터 지금까지 예스티가 수주한 HBM 장비의 누적 금액은 약 382억원을 기록했다. 반도체 장비로는 창사 이래 최대 수주 실적이다.

또한 예스티는 HBM 장비뿐 아니라 반도체·디스플레이 습도제어 장비 '네오콘(NEOCON)'의 성장도 기대한다. 네오콘은 효율적인 습도 제어로 고객사 수율을 개선 시켰고, 모듈식 탈부착을 통해 생산성 향상을 높였다. 합리적인 가격 등을 통해 가격 경쟁력도 갖춘 장비로, 지난해 양산을 본격화하면서 올해 1분기부터 매출이 반영됐다. 네오콘은 공동 개발 프로그램(JPD) 장비로 올해까지는 고객사에 제약이 있는 상태지만, 내년에는 다양한 고객사 확보 등을 통해 관련 수요의 증가가 전망된다.

예스티 관계자는 "HBM 장비는 현재 제일 잘 수행되고 있는 장비이다. 네오콘은 하반기에 만료되는 시점으로 내년부터는 고객 다변화를 진행해 볼 수 있다"며 "국내를 우선 공략해 나갈 예정이다. 디바이스 업체뿐만 아니라 장비사 등 고객사의 폭을 넓게 보고 있다"고 전했다.

이어 "(실적 관련해서는) 작년 말에 수주 받은 건이 올해 다 실적으로 반영된다. 1분기에 좋은 성과를 거둔 만큼, 올해는 작년에 비해 큰 폭의 성장을 예상하고 있다. 흑자전환은 당연히 이뤄낼 전망이다"고 말했다.

예스티는 지난해 별도기준 매출액 643억원, 영업이익 21억원을 달성했다. 연결기준에서는 매출액 798억원, 영업손실 4억원으로 적자를 기록했다.

예스티의 올해 1분기 별도기준 실적은 매출액 175억원, 영업이익 25억원으로, 지난해 전년도 영업이익을 한 분기에 초과 달성했다.

nylee54@newspim.com

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'육해공 통합' 4년제 사관학교 대전 자운대에 세운다 [서울=뉴스핌] 오동룡 군사방산전문기자 = 국방부가 16일 '국방교육 대개혁'을 표방하며 육·해·공군 사관학교를 대전 자운대 일대에 통합하는 '국군사관학교 창설 기본계획'을 공식 발표했다. 미래 안보환경 변화와 전시작전통제권(전작권) 회복 이후 한미연합방위체제를 이끌 장교를 양성하기 위해, 기존 각 군 사관학교를 "최고 수준의 첨단 통합 사관학교"로 재편하겠다는 구상이다. 국방부는 이번 계획을 "국방교육 대개혁의 첫걸음이자, 사관학교 교육체계 전반을 재설계하는 도약적 혁신"이라고 규정했다. 안규백 국방부장관이 지난 2월 20일 오전 충남 계룡대 대연병장에서 열린 육·해·공군 사관학교 통합임관식에서 축사를 하고 있다. [사진=국방부 제공] 2026.07.16 gomsi@newspim.com 국방부는 문제 인식의 출발점으로 "지금 변화하지 않으면 미래는 없다"고 규정하며, "각 군 사관학교 병립 체계가 자원 중복과 분산투자를 초래하는 구조적 비효율을 낳고 있다"고 진단했다. 현행 육·해·공군 사관학교는 각각 약 700~1000명 규모로 일반 종합대학 단과대 수준에 불과하지만, 총 2900여 명의 생도를 양성하기 위해 3명의 3성 장군을 포함한 7명의 장성, 약 3000여 명의 지원 인력을 유지하고 있어 "규모 대비 지휘·지원 구조가 비대하다"는 것이 국방부 판단이다. 국방부는 또한 "전쟁 양상이 지·해·공을 넘어 우주, 사이버, 전자기스펙트럼 등 '다영역 통제 능력'을 요구하는 시대로 급변하고 있는데도, 사관학교 교육체계는 여전히 군종별로 분절된 구조에 머물러 있다"고 지적했다. 새로 출범할 국군사관학교는 대전 자운대 지역에 통합 신설되며, KAIST와 국방과학연구소(ADD), 항공우주연구원, 천문연구원, 전자통신연구원, 원자력연구원 등 주요 연구기관이 밀집한 과학기술 클러스터와 연계된 '스마트캠퍼스'로 설계된다. 국군사관학교 예상 조감도. [그래픽=국방부 제공] 2026.07.16 gomsi@newspim.com 국방부는 "분산·노후화된 기존 육·해·공군 사관학교 시설을 하나로 모아 과감한 집중투자를 단행, 규모의 경제가 실현된 세계 최고 수준의 통합 교육 플랫폼을 만들겠다"고 밝혔다. 교육과정은 우주·사이버·전자기스펙트럼을 포함한 AI 기반 전영역 작전을 주도할 수 있는 각 군 특성화 교육과, 전작권 회복 이후 한미 장병을 주도할 수 있는 국제 감각·소양 함양 과정으로 재설계된다. 국방부는 "현재 약 24% 수준인 사관학교 민간교수 비율을 점차 50% 이상으로 끌어올리고, 국립대학 수준 처우를 보장해 최고 석학이 장교 양성 일선에 참여하도록 하겠다"고 밝혔다. 통합 국군사관학교를 중심으로 간호사관학교, 첨단사관학교, 학군·학사장교 과정 등 다양한 교육 코스를 수용하는 '국방교육 허브'로 장기 발전시키고, 상징성이 큰 기존 사관학교 시설과 기념공간은 보존·활용 방안을 병행 마련한다는 계획이다. 국방부는 "전작권 회복 이후 한미연합방위체제를 이끌 주역을 길러내는 세계적 수준 첨단 사관학교로 도약하겠다"며 "국민 의견을 적극 수렴하는 열린 절차로 국방교육 대개혁을 추진하겠다"고 덧붙였다. gomsi@newspim.com 2026-07-16 10:12