반도체 노광공정 핵심원료 고순도 네온 독자 양산 기술 확보
[서울=뉴스핌] 정경환 기자 = 패리티는 반도체 노광공정의 핵심원료인 고순도 네온의 독자적인 양산 기술 개발에 성공했다고 25일 밝혔다.
패리티에 따르면, 반도체 산업의 필수재이면서 조명은 물론 레이저 스캐너, 레이저 프린터, 레이저 치료기, 광학 디스크 등에 폭넓게 사용되고 있는 네온은 그동안 국내 소비물량의 대부분을 차지하던 우크라이나 및 러시아로부터의 공급이 끊기면서 중국에 전적으로 의존하고 있다. 수요 증가 및 공급량 부족 현상으로 가격 또한 우크라이나 전쟁 이전 대 비 수십배 이상 폭등, 국내 산업계에 큰 부담을 주고 있다.
[로고=패리티] |
이번에 패리티가 개발한 고순도 네온 양산 기술은 이러한 산업계의 우려를 깨끗이 씻어줄 수 있는 쾌거다. 사실 국제분쟁으로 네온 수급이 불안정해질 때마다 네온 국산화의 필요성이 제기됐고, 실제 정부의 적극적인 지원 하에 몇몇 기업에 의한 독자 기술 개발에 대한 노력이 꾸준히 있어 왔다.
다만, 실제 상업적 유용성이 있는 수준의 양산 개발에는 부족했다는 게 전문가들의 평가다. 그 이유는 초고압을 이용한 네온 분리 방법이나 반복적인 흡착 분리정제 방식 등의 기술은 공정이 복잡하고 생산비용이 높을 뿐 아니라, 생산효율도 매우 낮아 경제성을 갖춘 양산시스템으로는 적합하지 않기 때문이다.
이번 기술 개발을 주도한 패리티의 이상규 박사(공학)는 "패리티의 네온 정제 기술은 국내에서 최초로 수소액화에 사용되는 극저온 기술을 응용해 네온을 직접 액화하고, 정제 분리함으로써 생산공정 단순화 및 생산효율 극대화를 이뤘다"며 "비교적 저렴한 비용으로 고순도 네온을 대량으로 생산할 수 있는 독자적인 공정 기술을 확보했다는 측면에서 큰 의미가 있다"고 했다.
한편, 패리티는 수소액화 및 극저온 가스기술 전문기업이다. 이번에 개발한 고순도 네온 양산 기술에 대한 여러 건의 특허 출원을 완료했으며, 현재 구축 중인 생산시스템으로 향후 2개월 내에 시험생산에 들어갈 예정이다.
hoan@newspim.com