[서울=뉴스핌] 김양섭 기자 = 반도체 및 디스플레이 장비 전문기업 유니셈이 중국 최대 디스플레이 생산업체 BOE(BOE Optoelectronics Technology Co., Ltd) B11 공장에 스크러버(Scrubber)를 공급한다.
유니셈은 중국 BOE와 124억원 규모 스크러버 공급 계약을 체결했다고 20일 공시했다. 이번 계약을 통해 공급되는 스크러버는 중국 사천 B11라인 OLED 생산 공정에서 사용될 예정이다.
스크러버는 반도체 및 디스플레이 생산 공정에서 발생하는 유해가스를 처리하는 장비다. 온도 조절 장비 칠러(Chiller)와 함께 유니셈의 주력 제품이다.
유니셈은 지난달 20일에도 BOE와 B11라인에 사용되는 칠러 공급계약을 체결했다. 이번 공급계약을 포함해 올해 들어서만 BOE와 누적 267억원의 공급계약을 체결했다.
BOE는 B11라인에 약 70억 4000만 달러(7조 4800억원)를 투자했다. 올해는 충칭시에 위치한 B12라인 투자가 예정돼 유니셈은 B12에 대한 장비 공급도 기대하고 있다.
유니셈 관계자는 “BOE 외 차이나스타(CSOT) 등 여러 중국 디스플레이 업체들과도 스크러버 공급을 논의하고 있다”며 “중국 업체들이 환경 문제에 민감해진 가운데 디스플레이 생산의 미세공정화로 공정 내 유해가스 발생이 증가하고 있어 스크러버 수요는 더욱 늘어날 것으로 기대된다”고 밝혔다.
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