[뉴스핌=조현미 기자] 로체시스템즈는 밀폐형 카세트 내 반도체나 유리기판의 반송 작업을 할 수 있게 하는 적재장치에 대한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다.
회사 측은 "이번 특허 기술은 반도체 제조 장치에 적용할 예정"이라고 밝혔다.
[뉴스핌 Newspim] 조현미 기자 (hmcho@newspim.com)
기사입력 : 2013년07월05일 13:18
최종수정 : 2013년07월05일 13:18
[뉴스핌=조현미 기자] 로체시스템즈는 밀폐형 카세트 내 반도체나 유리기판의 반송 작업을 할 수 있게 하는 적재장치에 대한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다.
회사 측은 "이번 특허 기술은 반도체 제조 장치에 적용할 예정"이라고 밝혔다.
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