[뉴스핌=함지현 기자] 상아프론테크는 밀폐형 웨이퍼 캐리어에 적용되는 필터 커버 관련 특허권을 취득했다고 27일 공시했다.
회사측은 "반도체 제조공정의 핵심장비인 12인치 웨이퍼 캐리어 (FOUP) 제품 생산에 활용할 계획"이라고 밝혔다.
상아프론테크는 또한 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트 관련 특허권도 취득했다.
회사측은 "LCD 제조공정 중 판넬 제조공정에 사용되는 장비로 제품 생산에 활용할 계획"이라고 설명했다.
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[뉴스핌 Newspim] 함지현 기자 (jihyun0313@newspim.com)