이 기사는 11월 19일 오전 07시40분 프리미엄 뉴스서비스'ANDA'에 먼저 출고됐습니다. 몽골어로 의형제를 뜻하는 'ANDA'는 국내 기업의 글로벌 성장과 도약, 독자 여러분의 성공적인 자산관리 동반자가 되겠다는 뉴스핌의 약속입니다.

[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체·디스플레이 장비업체 '제우스'가 반도체 세정장비 분야에서 첫 해외 수주가 가시권에 들어갔다. 글로벌 시장 진출에 속도가 붙을 전망이다. 국내 주요 메모리 고객사에 공급해 오던 세정 장비가 글로벌 고객사에 납품될 예정이다. 해당 고객사의 소재 국가와 규모에 대해 궁금증이 커지고 있다. 

세정장비는 포토·식각·증착·CMP 등 주요 공정에서 웨이퍼의 오염을 제거하는 핵심 장비로, 공정 수율을 좌우하는 역할을 한다. 제우스는 특히 고대역폭메모리(HBM) 패키징의 핵심 단계인 TSV(Through-Silicon Via) 이후 적용되는 세정 공정에서 기술 경쟁력을 확보해 왔다. 자체 개발한 HBM 세정장비 시리즈 '아톰(ATOM)'과 '새턴(SATURN)'은 삼성전자와 SK하이닉스를 비롯한 국내 주요 고객사에 공급되고 있다.

제우스 관계자는 18일 "미국 고객사로부터 세정장비 PO(구매요청서)를 확보했으며 장비 제작은 거의 마무리된 상태로, 연내 납품할 예정이다"며 "연말 미국 진출을 본격화하면서 시장을 적극 확보해 나갈 계획이다"고 말했다.

제우스는 포토닉 디본딩(Photonic Debonding) 장비 상용화 준비에도 속도를 내고 있다. 디본딩 공정은 임시 접착된 캐리어 웨이퍼에서 얇은 웨이퍼를 분리하는 단계로, 기존 기계·열·레이저·화학 방식은 웨이퍼 손상 가능성이 지적돼 왔다. 제우스가 미국 '펄스포지(PulseForge)'와 협력해 개발한 포토닉 방식은 플래시램프 기반 고출력 광원을 LAL(Light Absorb Layer)에 선택적으로 조사해 물리적·화학적 충격 없이 웨이퍼를 분리할 수 있는 것이 특징이다.

제우스 관계자는 "포토닉 디본더 개발은 이미 완료된 상태이며, 내년 초 미국으로 첫 공급을 시작해 국내외 시장으로 확대할 계획"이라며 "세상에 없던 장비를 개발해 공급한다는 점에서 의미가 크다"고 말했다. 포토닉 디본더가 도입되면 제우스는 디본더와 기존 세정장비를 연계한 '턴키(line-up) 공급' 전략도 추진할 수 있어 후공정 장비 라인업 확장이 가능해진다.

또한, 제우스는 반도체 장비뿐만 아니라 로봇 사업 확장을 적극 추진 중이다. 올해 3분기 기준 반도체 장비가 전체 매출의 59.08%, 로봇 사업이 25%, 디스플레이 장비 11.64%, 플러그밸브가 3.29%를 차지하며 로봇 사업 비중이 빠르게 확대되는 모습이다.

특히 올해 5월에는 국내 대기업을 대상으로 모바일 매니퓰레이터(Manipulator) 기반 로봇 시스템을 신규 수주했다. 매니퓰레이터는 자율이동로봇(AMR) 또는 무인운반차량(AGV)에 로봇팔을 결합한 형태로, 업계 최대 수준인 30kg 적재가 가능하다. 전기차·2차전지 등 다양한 산업군에서 활용도가 높아 향후 적용 분야 확대에 대한 논의도 진행 중이다.

현재 제우스는 산업용 로봇의 '내재화 전략'을 강화하며 자체 기술로 개발한 로봇을 반도체 장비에 직접 장착하는 방식을 추진하고 있다. 제우스 관계자는 "반도체 장비 기업 중 자체 장비와 장비용 로봇을 모두 개발해 적용하는 거의 없다"며 "로봇을 장비에 내재화하는 데모 테스트가 빠르게 마무리될 예정으로, 향후 외부 판매도 생각해두고 있다"고 말했다.

한편, 제우스는 일본 반도체 장비 자회사 J.E.T의 부진이 이어지면서 연결 실적에서 아쉬운 흐름을 보였다. J.E.T의 주요 고객사 장비 도입 지연과 중국 시장 둔화로 적자 폭이 확대된 영향이다. 제우스의 3분기 연결 기준 누적 매출은 284억원, 영업손실은 22억원을 기록했다.

J.E.T는 일본·미국 시장 확대를 통해 성장 기반을 구축해 나가고 있다. 제우스 관계자는 "일본 기업과 장비 납품 협의를 진행 중이며, 미국 고객사는 현재 수주를 받아놓은 상태다"며 "내년부터는 회복 흐름으로 갈 것으로 본다"고 말했다.

nylee54@newspim.com