12일 동탄 신사옥 개소 맞춰 2㎚·VCT D램 협력 가속
삼성·ASML 공동 R&D센터 추진에 속도
[서울=뉴스핌] 서영욱 기자 = 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 크리스토퍼 푸케 최고경영자(CEO)가 오는 12일 방한해 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 반도체 기업과의 협력을 확대한다. 경기 화성시 동탄에 완공된 ASML 한국 신사옥 개소식 참석과 함께, 극자외선(EUV) 기술을 중심으로 한 차세대 반도체 공정 협력을 논의할 전망이다.
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| 네덜란드 남부 노르트브라반트주 에인트호번에 위치한 반도체 제조장비 업체 ASML 본사 [사진=로이터 뉴스핌] |
11일 관련 업계에 따르면 ASML은 세계에서 유일하게 EUV 노광장비를 생산하는 기업으로, 초미세 반도체 제조의 핵심 파트너로 꼽힌다. ASML은 이번 신사옥 개소를 계기로 국내 반도체 기업들과 2나노미터(㎚) 이하 공정과 수직채널트랜지스터(VCT) D램 등 차세대 제품 개발 협력을 가속할 방침이다.
특히 삼성전자와 함께 약 7억유로(약 1조2000억원)를 투입하는 공동 연구개발(R&D)센터 프로젝트가 본격 추진될 것으로 보인다. 두 회사는 EUV 연구소와 R&D 전용 라인이 포함된 시설 부지 선정을 사실상 마무리 단계에 두고 있다.
업계에선 푸케 CEO가 방한 기간 중 이재용 삼성전자 회장과 최태원 SK그룹 회장을 만날 가능성도 점치고 있다. 이 회장은 유럽 출장 때마다 ASML 본사를 방문해 협력 관계를 다져왔으며, 최 회장도 지난해 말 네덜란드 본사를 찾은 바 있다. 이번 회동을 계기로 양사와 ASML 간 첨단 공정 협력이 한층 강화될 것으로 업계는 기대하고 있다.
syu@newspim.com













