전체기사 최신뉴스 GAM
KYD 디데이

[Tech 스토리] 반도체 '나노 전쟁' 핵심 EUV 노광장비 기술

기사입력 : 2023년03월05일 07:53

최종수정 : 2023년03월05일 20:22

파장 짧은 빛 EUV 활용해 웨이퍼에 회로 새겨
기존 ArF比 14배 정도 얇은 회로 그릴수 있어

기업들의 신기술 개발은 지속가능한 경영의 핵심입니다. 이 순간에도 수많은 기업들은 신기술 개발에 여념이 없습니다. 기술 진화는 결국 인간 삶을 바꿀 혁신적인 제품 탄생을 의미합니다. 기술을 알면 우리 일상의 미래를 점쳐볼 수 있습니다. 각종 미디어에 등장하지만 독자들에게 아직은 낯선 기술 용어들. 그래서 뉴스핌에서는 'Tech 스토리'라는 고정 꼭지를 만들었습니다. 산업부 기자들이 매주 일요일마다 기업들의 '힙(hip)' 한 기술 이야기를 술술~ 풀어 독자들에게 전달합니다.

[서울=뉴스핌] 김지나 기자 = 미국과 중국이 반도체 패권 전쟁을 이어가는 한편 글로벌 반도체 업체들이 첨단 반도체 개발을 두고 '나노 경쟁'을 펼치고 있는 가운데, ASML이 보유하고 있는 EUV(극자외선) 노광장비 기술은 첨단 반도체 생산을 위한 핵심 기술로 떠올랐습니다.

반도체 업계에서 ASML은 '슈퍼 을(乙)'로 불리며 TSMC, 삼성전자, 인텔, 마이크론 등 주요 글로벌 반도체 업체들은 ASML로부터 EUV 장비를 도입하기 위해 혈안이 돼 있죠.

ASML의 EUV 노광장비 [사진=업체 홈페이지]

ASML에서 보유하고 있는 EUV 노광장비 기술에 대해 설명하려면 우선 반도체 생산에 있어 노광공정이 무엇인지부터 알아야 합니다. 반도체는 전기가 흘러 다니는 수많은 회로를 보유하고 있습니다. 이 회로는 아주 미세하기 때문에 손으로 그릴 수 없는데, 이 때 사용하는 것이 빛입니다.

노광공정이란 웨이퍼 위에 빛으로 회로를 새기는 공정을 뜻하는데, 이 때 빛으로 새겨지는 회로가 미세할 수록 한 웨이퍼에 들어갈 수 있는 반도체칩 수가 많아져 반도체 성능이 좋아집니다. 이것이 반도체 회사들이 나노 경쟁을 펼치며 더 미세한 반도체를 만들려고 하는 이유죠.

노광공정에 활용되는 빛의 파장은 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF), 액침불화아르곤(Immersion ArF) 등입니다. 20나노급 이상에서 사용된 빛의 파장은 ArF인데, 이것이 10나노급 반도체 생산을 하면서부터 한계를 나타내기 시작했습니다.

이에 대안으로 떠오른 것이 EUV를 활용한 노광장비입니다. EUV 노광장비는 EUV 광원을 활용한 13.5nm 빛 파장으로 EUV를 활용하면 기존 193nm의 ArF 보다 웨이퍼에 14배 정도 얇은 회로를 그릴 수 있습니다. 7nm 이하 반도체를 생산하기 위해선 EUV 노광장비가 필수적인 상황이죠.

현재 이 기술을 가지고 있는 반도체 장비업체는 ASML이 유일한데, 그 이유는 노광장비에 있어 EUV를 사용하는 것은 그만큼 다루기 힘든 기술이기 때문입니다. 기존 노광장비는 렌즈를 이용해 빛을 투영시키는 방법을 썼습니다. 하지만 EUV는 빛의 파장이 짧아 공기에 바로 흡수되는 성질을 가지고 있어 이 방법을 쓸 수 없습니다.

이에 ASML은 EUV를 노광공정에 이용할 때 거울을 사용해 빛을 반사시키는 방법을 사용했습니다. 먼저 내부를 진공상태로 만들고, 빛을 흡수하는 렌즈 대신 특수 제작한 반사거울 여러 개를 장치해 EUV 빛을 반사하는 방법으로 웨이퍼에 회로를 새기는 겁니다.

현재 EUV 노광장비 1대 당 가격은 1억5000만 달러(약 1900억원) 안팎으로 추정되고 있습니다. 업계에선 EUV 노광장비 기술 고도화와 함께 앞으로 장비의 1대당 가격이 최대 4억 달러(약 5100억원)까지 올라갈 수 있다고 보고 있습니다.

 

abc123@newspim.com

[뉴스핌 베스트 기사]

사진
[단독] 李정부 국정 5개년 책자 나왔다 [서울=뉴스핌] 윤채영 지혜진 기자 = 이재명 정부의 국정운영 5개년 계획이 담긴 책자가 발간된 것으로 20일 확인됐다. 이날 뉴스핌이 확보한 '이재명 정부 국정운영 5개년 계획(안)' 책자에는 123대 국정과제에 대한 주요 내용과 구체적인 입법 방향 등이 담겼다. [서울=뉴스핌] 이재명 대통령이 13일 서울 종로구 청와대 영빈관에서 열린 국정기획위원회 국민보고대회에서 발언하고 있다. [사진=대통령실] 2025.08.13 photo@newspim.com 국정기획위원회가 지난 13일 1호 과제로 발표한 개헌에는 대통령 권력 구조 개편도 포함됐다. ▲4년 연임제 및 결선투표제 도입 ▲감사원 국회소속 이관 ▲대통령 거부권 제한 ▲비상명령 및 계엄 선포 시 국회 통제권 강화 ▲국무총리 국회 추천제 도입 ▲중립성 요구 기관장 임명 시 국회 동의 의무화를 추진하겠다고 명시했다. 또 5·18 광주 민주화운동 정신 등 헌법 전문 수록과 검찰 영장 청구권 독점 폐지, 안전권 등 기본권 강화 및 확대, 지방자치와 균형발전을 위한 논의기구 신설, 행정수도 명문화 등이 개헌 과제로 포함됐다. 개헌을 위한 국민투표법 개정도 추진된다. 헌법불합치 결정을 받은 재외국민 투표 관련 규정을 개정해 국민투표법 위헌을 해소하겠다는 계획이다. 개헌 찬반 투표는 2026년 지방선거나 2028년 국회의원 선거 때 실시하겠다고 명시했다. [서울=뉴스핌] 뉴스핌이 확보한 이재명 정부 국정운영 5개년 계획(안) 책자. 2025.8.20 ycy1486@newspim.com 이번 책자에는 국정기획위가 지난 13일 대국민보고대회에서 공개한 123대 국정과제보다 훨씬 세부적인 내용이 담겼다. 당초 국정위는 이날 국정운영 5개년 계획도 공개하려 했다가, 돌연 비공개 결정을 내렸다. 비공개 결정에는 이재명 대통령의 의중이 강하게 작용한 것으로 알려졌다. 국정위 소속으로 활동했던 한 위원은 뉴스핌과 통화에서 "갑자기 보안을 강조하면서 내부 자료는 절대 공개하지 말라고 했다"며 "이유는 모른다"고 전했다.  ycy1486@newspim.com 2025-08-20 15:55
사진
美, 인텔 이어 삼성도 지분 내놔라? [서울=뉴스핌] 최원진 기자= 도널드 트럼프 미국 행정부가 반도체법(CHIPS Act)상 보조금을 활용해 인텔 지분 확보를 추진 중인 가운데, 삼성전자와 대만 TSMC 등 다른 반도체 기업에도 같은 방식을 적용하는 방안을 검토 중이라고 로이터 통신이 두 명의 소식통을 인용해 19일(현지시간) 보도했다. 보도에 따르면 하워드 러트닉 상무부 장관은 삼성전자, 마이크론, TSMC 등 미국 내 공장 건설과 투자를 진행 중인 반도체 기업들을 상대로, 조 바이든 전임 행정부 시절 약속된 정부 보조금 제공과 맞바꿔 지분을 확보하는 방안을 모색하고 있다. 현실화하면 글로벌 반도체 업계에 파장이 불가피하다. 미국 정부에 지분을 넘기고 싶지 않다면 보조금을 포기해야 할 수 있는데 이 경우 기업들의 순익 전망과 투자 계획도 차질을 빚을 수 있다. 미국의 산업정책이 정권에 따라 오락가락한다는 업계의 불만과 비난 또한 커질 수 있지만 트럼프 행정부의 성격상 귀담아 들을 가능성은 높지 않다. 러트닉 장관은 CNBC 인터뷰에서 "트럼프 대통령은 미국이 거래에서 실질적 이익을 얻어야 한다고 본다"며 "왜 1천억 달러 규모의 기업에 돈을 줘야 하는가. 우리는 약속한 보조금을 지급하되, 그 대가로 지분을 받아 미국 납세자들에게 혜택을 돌릴 것"이라고 말했다. 트럼프 행정부가 인텔 지분 10%를 확보할 경우 최대 주주가 될 수 있지만, 러트닉 장관은 "경영권에 개입하지는 않을 것"이라고 선을 그었다. 그럼에도 불구하고 이러한 조치는 전례가 없는 것이며, "이는 대기업에 대한 미국의 영향력 확대라는 새로운 시대를 열게 될 것"이란 진단이다.  로이터는 "마이크론은 인텔에 이어 반도체법 보조금을 가장 많이 받는 미국 기업이며, 삼성전자와 TSMC 역시 주요 수혜 대상"이라며 "이번 검토는 미국 정부가 반도체 산업에 대한 직접적 영향력을 확대하려는 움직임"이라고 분석했다. 올해 6월에도 비슷한 조치가 있었는데, 트럼프 정부는 일본제철의 U.S.스틸 인수 승인 조건으로 '황금주(golden share)'를 확보해 주요 경영 결정에 거부권을 행사할 수 있게 됐다. 삼성전자 미국 텍사스주 테일러 공장 건설 현장. [사진=삼성전자] wonjc6@newspim.com   2025-08-20 08:31
안다쇼핑
Top으로 이동