[서울=뉴스핌] 양태훈 기자 = 메카로가 29일 열린 임시 주주총회에서 반도체 제조용 프리커서(Precusor, 전구체) 사업 부문을 물적분할해 '엠케미칼 주식회사(M Chemicals Inc)'를 설립하는 안건을 의결했다.
메카로는 올해 11월 1일 엠케미칼 주식회사(이하 엠케미칼)를 설립한 이후 공정거래위원회로부터 기업결합신고 승인을 받아 버슘머트리얼즈코리아(Versum Materials Korea)에 엠케미칼 지분 100%를 양도할 예정이다.
메카로 관계자는 "공정위로부터 기업결합신고 승인을 받은 이후 엠케미칼은 머크 그룹의 자회사로 편입될 예정"이라며 "메카로는 엠케미칼 양도를 통해 확보한 자금을 반도체 장비용 밸브와 세라믹히터 개발과 인수합병 등에 활용할 계획"이라고 말했다.
메카로는 올해 8월 핵심역량 집중화를 위해 한국 머크의 관계사인 버슘머트리얼즈코리아와 주식 양도 계약을 체결한 바 있다. 양도금액은 1463억원으로 양도예정일은 2024년 1월 31일이다.
엠케미칼의 경영은 공정위의 기업결합신고 승인 전까지 이재정 메카로 대표가 맡는다. 이재정 대표는 디램(DRAM)의 캐패시터 물질로 사용되는 고유전율(high-k) 전구체 개발에 주력해 150억원의 누적 매출 달성을 이끌 예정이다.
고유전율 전구체는 반도체 소자 제조 공정 중에서 웨이퍼 위에 박막을 증착하기 위한 용도로 사용되는 화학 물질이다. 이는 기존의 공정에서 사용한 실리콘옥사이드(SiO2) 대비 웨이퍼 상에서 회로 간 누설전류가 흐르는 것을 줄여 전력 효율 향상을 끌어낼 수 있다. 메카로는 디램 캐패시터에 고유전율 전구체 박막을 형성하는 신규 전구체 개발을 완료하고 SK하이닉스와 품질 테스트를 진행 중이다.
메카로 측은 "메카로는 전구체를 이용해 증착하는 박막의 물성에 적합하도록 공정 메커니즘을 화학적으로 시뮬레이션해 실제 공정 장비에 적용이 원활하도록 설계하는 기술 분야에서 경쟁사 대비 특장점을 가지고 있다"며 "SK하이닉스 전구체 통합 점유율은 30% 이하로 추정하고 있다"고 전했다.
한편 메카로는 2000년 10월에 설립한 반도체용 부품 및 소재 전문 제조사다. 실적은 지난해 연결 기준으로 매출 828억원, 영업이익 38억원을 기록했다. 이중 전구체 사업 부문 매출은 지난해 343억원에 달했다.
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