[서울=뉴스핌] 조한웅 기자= 반도체 공정기술 전문 연구기업인 ㈜이큐테크플러스가 반도체 공정에 필수적인 산화막의 품질을 향상시키는 차세대 생성 모듈을 개발했다. 1년 정도의 장비업체 테스트를 거치면 상용화가 가능하다.

이큐테크플러스는 또 중국 장쯔성 쑤저우 과학기술단지 입주를 추진하는 등 해외시장 개척에 나서고 있다.

산화막은 반도체 실리콘웨이퍼 표면에 증착돼 전류 누설을 차단하는 절연막 역할 등을 한다. 반도체가 10나노미터(nm·1nm은 10억분의 1m) 이하로 초미세화하면서 산화막을 생성하는 공정도 점점 고도화하고 있다. 고온으로 생성한 산화막은 미세한 회로에서 균일하지 않은 두께가 될 가능성이 높기 때문이다.

이큐테크플러스는 기존에 1200~1400℃까지 올려야 했던 생성 열처리 온도를 600℃로 낮추면서도 산화막의 밀도는 높인 고품질 생성모듈을 개발 완료했다. 이 모듈은 기존의 산화공정용 장비에 갈아 넣기만 하면 돼 수요처의 장비 개조도 쉽다.

이 회사는 3년여의 연구 개발을 통해 올 하반기 시제품을 완성, 세계적인 장비업체에 납품할 에정이다. 장비업체에서 1년여간 테스트를 거쳐 상용화에 나선다.

이큐테크플러스는  이 특허기술을 전력반도체 분야에도 응용할 수 있을 것으로 보고 실리콘(Si) 기판에 비해 고전압에서 적용되는 실리콘카바이드(SiC) 기반의 전력반도체 산화막 생성 기술에 대한 연구를 진행중이다.

반도체웨이퍼및 장비 [사진=이큐테크플러스]

이큐테크플러스는 해외시장 진출도 본격화하고 있다. 우선 필름웨이퍼 반도체 기술에 관심이 높은 중국 시장에 주목해 중국 장쯔성 쑤저우 과학기술단지에 입주를 위한 협의를 진행중이다.

중국을 시작으로 미국, 일본 등으로 영역을 넓혀 글로벌 기업으로 도약한다는 목표다.

이큐테크플러스는 2017년 설립한 신생기업이지만 반도체 기구설계, 제작, 소재·장비 분야에서 20년이상 경력을 가진 엔지니어들이 차세대 반도체 증착 기술을 무기로 글로벌 반도체 시장 개척에 나서고 있다.

웨이퍼 표면에 절연막이나 전도성 막을 형성하는 웨이퍼 증착서비스와 산화막 생성장비 핵심모듈 개발을 주력 아이템을 하는데 기술력을 인정받아 국내외 주요 장비업체에 공급하고 있다. 

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