[뉴스핌=황의영 기자] 다원시스는 삼성전자 LCD 공장에 EUV 대체용으로 설치될 대기압플라즈마 세정장비를 41억8000만원에 공급하는 계약을 체결했다고 지난달 31일 밝혔다. 다원시스는 오는 5월 말까지 장비를 납품할 예정이다.
다원시스 관계자는 "지난 21일 임시주주총회를 통해 최종 승인된 반도체 LCD 플라즈마 세정장치사업의 영업양수와 발맞춰 수주한 첫 성과"라며 "기존 LCD 플라즈마 세정장비의 핵심부품인 전원장치 공급에서 더 나아가 LCD 장비사업에 본격적으로 진출한 것"이라고 평가했다.
이를 바탕으로 국내는 물론 중국, 대만 등 해외에서 반도체 LCD 장비시장에 대한 점유율을 확대해 시장지위를 확보하고 성장성을 부각시킨다는 방침이다.
다원시스 측은 "인공태양이라 불리는 KSTAR 프로젝트에 참여해 기술력을 전 세계적으로 인정 받아 글로벌 프로젝트인 ITER(국제핵융합실험로) 사업에도 참여할 예정"이라며 "또 폴리실리콘 생산용 전원장치인 태양광 CVD전원장치도 공급 중"이라고 말했다.
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[뉴스핌 Newspim]황의영 기자 (apex@newspim.com)