[뉴스핌=김동호 기자] 시노펙스(대표 손경익)는 12일 웨이퍼 가공시 발생되는 폐수를 재활용 하는 웨이퍼가공폐액 재활용 시스템을 국내 최초로 개발에 성공했다고 밝혔다.
시노펙스의 웨이퍼가공폐액 재활용 시스템은 반도체 제조 공정 중 발생하게 되는 웨이퍼 폐수 속의 각종 물질을 분리 및 정제하여 깨끗한 물로 처리해 재활용 가능하게 하는 설비다.
기존에는 웨이퍼 폐수의 주 성분인 SIC(Silicon carbid), 냉각제, 물 등을 처리하기 위해 원심력(遠心力)을 이용한 분리기로 물질을 분리하거나 생물학적 처리 및 소각 등의 과정을 거쳐야 했지만 시노펙스의 웨이퍼가공폐액 재활용 시스템 개발로 폐수의 98%이상 재활용을 함으로써 30% 이상의 원가절감이 가능해졌다.
또한 시노펙스의 웨이퍼가공폐액 재활용 시스템은 친수성(親水性)과 내오염성이 강한 폴리아크릴로니트릴 (PAN)계 분리막을 탑재해 복잡한 처리 과정을 한번에 일괄 처리한다는 장점이 있다.
특히 이번 시스템은 시노펙스 자회사인 시노펙스케미코아의 자체 기술로 개발한 것으로 기존의 폴리술폰(PSU)계 분리막이 소수성(疏水性) 특성 때문에 수명이 1개월에 불과하던 것을 폴리아크릴로니트릴 (PAN)계 분리막을 사용함으로써 수명을 10개월 이상으로 연장했으며, 처리 용량 2~3배 확대, 자동 운전이 가능한 것이 특징이다.
시노펙스 손경익 대표이사는 “웨이퍼가공폐액 재활용 시스템 은 산업현장의 친환경 설비로 현재 특허 출원 준비 중”이라며 “ 이러한 기술력을 바탕으로 앞으로 친환경 바람이 불고 있는 국내뿐 아니라 세계 시장의 진출 등 적극적인 마케팅을 진행할 것이다” 고 밝혔다.
시노펙스의 웨이퍼가공폐액 재활용 시스템은 반도체 제조 공정 중 발생하게 되는 웨이퍼 폐수 속의 각종 물질을 분리 및 정제하여 깨끗한 물로 처리해 재활용 가능하게 하는 설비다.
기존에는 웨이퍼 폐수의 주 성분인 SIC(Silicon carbid), 냉각제, 물 등을 처리하기 위해 원심력(遠心力)을 이용한 분리기로 물질을 분리하거나 생물학적 처리 및 소각 등의 과정을 거쳐야 했지만 시노펙스의 웨이퍼가공폐액 재활용 시스템 개발로 폐수의 98%이상 재활용을 함으로써 30% 이상의 원가절감이 가능해졌다.
또한 시노펙스의 웨이퍼가공폐액 재활용 시스템은 친수성(親水性)과 내오염성이 강한 폴리아크릴로니트릴 (PAN)계 분리막을 탑재해 복잡한 처리 과정을 한번에 일괄 처리한다는 장점이 있다.
특히 이번 시스템은 시노펙스 자회사인 시노펙스케미코아의 자체 기술로 개발한 것으로 기존의 폴리술폰(PSU)계 분리막이 소수성(疏水性) 특성 때문에 수명이 1개월에 불과하던 것을 폴리아크릴로니트릴 (PAN)계 분리막을 사용함으로써 수명을 10개월 이상으로 연장했으며, 처리 용량 2~3배 확대, 자동 운전이 가능한 것이 특징이다.
시노펙스 손경익 대표이사는 “웨이퍼가공폐액 재활용 시스템 은 산업현장의 친환경 설비로 현재 특허 출원 준비 중”이라며 “ 이러한 기술력을 바탕으로 앞으로 친환경 바람이 불고 있는 국내뿐 아니라 세계 시장의 진출 등 적극적인 마케팅을 진행할 것이다” 고 밝혔다.