제이오, 차세대 'EUV 펠리클용 CNT 멤브레인' 기술 개발 착수
... CNT 펠리클은 기존 실리콘 소재의 EUV 펠리클보다 내구성이 2배 강해 향후 도입될 하이-NA EUV 공정에...
2024-10-07 09:46