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[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체 장비 전문기업 아이에스티이(ISTE)가 반도체 핵심 공정 장비인 플라즈마 강화 화학기상증착(PECVD·Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 앞세워 사업 구조 전환에 속도를 내고 있다. 반도체 장비 중심에서 고부가 장비, 인공지능(AI) 데이터센터, 에너지 사업으로 영역을 넓히며 성장 축을 다변화하고 있다.

아이에스티이는 PECVD 장비 개발을 완료하고 고도화 작업을 진행 중이다. 아이에스티이는 PECVD 장비 개발을 완료하고 고도화 작업을 진행 중이다. 올해 데모 장비 납품을 통해 이를 기반으로 공정 적용 가능성 검증을 진행할 계획이다

아이에스티이 관계자는 18일 "PECVD 장비 후속 모델은 성능 고도화를 진행 중으로 상반기 내 데모 장비 납품을 목표로 하고 있다"며 "지난해 첫 납품한 'SiRiUSⅠ'에 이어 생산성과 안정성을 개선한 'SiRiUSⅡ' 고객사 평가를 진행 할 예정"이라고 말했다.

아이에스티이가 개발한 PECVD 장비는 'SiRiUS' 시리즈로 구성된다. 싱글 타입 장비 'SiRiUSⅠ'은 지난해 11월 주요 고객사에 납품된 초기 상용 모델로, PECVD 시장 진입을 위한 레퍼런스를 확보한 장비다. 트윈 타입 장비 'SiRiUSⅡ'는 생산성과 공정 안정성을 개선한 후속 모델로, 양산 대응이 가능한 생산 효율성을 갖춘 것이 특징이다.

PECVD 장비는 반도체 공정에서 절연막과 보호막을 형성하는 핵심 설비로, 미세 공정과 고적층 구조에서 필수적인 역할을 한다. 화학기상증착(CVD)에 플라즈마를 결합한 방식으로 낮은 온도에서도 균일한 박막 형성이 가능해 열에 민감한 공정에 적합하다. 이에 따라 고대역폭메모리(HBM)와 하이브리드 본딩 등 차세대 패키징 공정에서 활용도가 확대되고 있다.

특히 아이에스티이가 개발 중인 SiCN-PECVD 장비는 구리 배선에서 전하 이동을 억제해 신호 지연을 줄이고 전력 효율을 개선하는 기능을 갖춘 것이 특징이다. 고성능 반도체 구현에 필수적인 공정 장비로 평가된다.

기존 주력 장비인 '풉 클리너(FOUP Cleaner)'는 안정적인 캐시카우 역할을 하고 있다. FOUP(Front Opening Unified Pod)는 반도체 웨이퍼를 보관·이송하는 핵심 용기로, 미세 오염 발생 시 수율에 직접적인 영향을 미친다. 아이에스티이는 커버와 바디를 분리 세정하는 기술을 통해 세정 효율과 생산성을 동시에 확보하며 경쟁력을 구축했다.

공정 미세화가 진행될수록 클리닝 공정 단계가 증가하는 만큼 FOUP 클리너 수요 역시 구조적으로 확대되는 흐름이다. 다만 최근 반도체 투자 업황 둔화 영향으로 고객사 설비 투자 집행이 지연되면서 단기 실적은 다소 부진했다. 지난해 매출 감소와 함께 영업적자를 기록하며 일시적인 실적 공백이 발생했다.

올해 들어 장비 부문을 중심으로 수주가 늘어나면서 실적 개선도 기대되고 있다. 장비부문 지난해 말 수주잔고와 올해 공시건을 합쳐 약 180억원 수준이다. 또한 삼성전자에 FOUP 인스펙션(FOUP Inspection) 데모 장비를 납품한 데 이어 FOUP 클리너 초도 물량 공급도 앞두고 있기에 제품 포트폴리오를 확장하며 장비 사업 전반의 매출 기반을 넓히는 모습이다.

아이에스티이 관계자는 "신제품 초도 물량 공급과 고객사 확대에 따라 매출 인식을 앞두고 있기에 올해 장비 사업은 긍정적인 흐름을 이어갈 것으로 보인다"고 설명했다.

또한 올해 신규 사업인 'AI 데이터센터' 사업도 본격화한다. 회사는 세계적인 전자제품 주문자 상표 부착 생산(ODM) 기업 '페가트론'과 전략적 협의를 진행하며 국내 AI 인프라 시장 진입을 준비 중이다. 반도체 장비 중심의 사업 구조에서 AI 인프라 유통·서비스 영역으로 확장하며 신규 매출원을 확보한다는 전략이다.

아이에스티이 관계자는 "페가트론이 제조한 AI 데이터센터용 서버를 국내에 소개·판매하는 형태의 제휴를 추진 중"이라며 "주주총회 이후 사업 목적 추가를 거쳐 4월부터 본격적인 판매가 가능할 것으로 예상된다"고 말했다. 이어 "정부의 AI 데이터센터 확대 정책과 맞물려 연내 가시적인 성과를 목표로 하고 있다"며 "제품 소개부터 판매, 구축까지 이어지는 역할을 수행할 계획"이라고 설명했다.

에너지 사업 역시 중장기 성장 동력으로 자리 잡고 있다. 아이에스티이는 폐플라스틱 열분해를 통해 수소를 생산할 수 있는 설비 기술을 확보했고, 이를 활용한 청록수소 생산 사업을 추진 중이다. 열분해유는 폐기물을 에너지 자원으로 전환하는 기술로 친환경 정책 확대와 맞물려 수요가 증가하는 분야다. 

에너지 사업의 핵심은 설계·조달·시공(EPC) 기반 사업으로, 현재 주력 매출은 수소 충전소 EPC에서 발생하고 있으며 수소 생산 설비 EPC도 일부 반영되고 있다. 여기에 더해 시멘트 공정 등 산업 EPC로 사업 영역을 확대하며 적용 산업을 다각화하고 있다.

아이에스티이 관계자는 "수소 충전소 EPC를 중심으로 시작해 생산 설비와 시멘트 등 산업 EPC로 확장하고 있다"며 "레퍼런스 축적과 함께 기술 경쟁력이 강화되면서 수익성도 점진적으로 개선되고 있다"고 설명했다. 이어 "에너지 사업은 아직 초기 단계로 적자를 기록하고 있지만, 올해 설비 구축이 완료되면 손익분기점(BEP)을 넘어 흑자 전환을 목표로 하고 있다"고 말했다. 지난해 기준, 에너지 사업 부문은 전체 매출의 약 30% 수준을 차지하고 있다.

nylee54@newspim.com