[고영화의 중국 반도체] <5> 中 노광기 국산화, 반도체 굴기 '사활'<下>

기사입력 : 2022년08월22일 10:55

최종수정 : 2022년08월22일 17:32

<中 편에서 이어짐>

궈왕광학(国望光学, 비상장)은 베이징이좡국제투자가 2018년 6월 베이징에 설립했다. 중국과학원장춘광학기계연구소는 궈커정밀광학(CNEPO)을 궈왕과학의 100% 자회사로 편입시키는 대가로 궈왕광학의 지분 14.7%를 받았다. 노광기 대물렌즈모듈 (110/90/28nm)을 개발한다.

치얼기전(启尔机电, CHEER, 비상장)은 저장대학 유체동력및기전시스템실험실 출신 창업팀이 2013년 5월 항저우에 설립했다. 유체정화, 유체검사, 유체제어 기술을 보유하고 있으며, 28nm 노광기의 액침(Immersion) 시스템 개발을 담당한다.

동팡징웬(东方晶源, DJEL, 비상장)은 중국과학원마이크로전자연구소가 2014년 2월 베이징에 설립했다. 전자빔결함검사(EBI), 외관사이즈측정 (CD-SEM) 등 측정장비와 광근접보정(OPC, Optical Proximity Correction) 소프트웨어 기술을 보유하고 있으며, 28nm 노광기의 노광최적화(Computational Lithography) 소프트웨어 개발을 담당한다.

당초 28nm ArFi 액침노광기는 2020말 까지를 개발완료 시점으로 정했으나, 프로젝트 종료가 1년 연기 되었는데, 2021년 말에도 일부 중국 매체에 "28nm 국산 노광기 개발 실패" 라는 보도가 나왔을 뿐, 정식으로 개발이 완료되었다는 소식은 현재까지 발표되지 않고 있다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = 2016년 4월, 칭화대 노광기 듀얼 마운트 개발현장. 뒤에 걸려있는 플랭카드의 "10년에 칼을 하나 갈고, 100일에 1 nm 줄이자(十年磨一剑，白天一纳米)"는 구호가 비장해 보인다 (출처: 팡정증권(方正证券), 2020.6). 2022.08.22 chk@newspim.com

◆ SMIC, 14nm DUV 노광기로 7nm 반도체 제조 성공?

지난 7월말, 여러 외신들이 세계 5대 파운드리 중국 SMIC(중신국제, 688981.SH)가 7nm 공정의 시스템온칩(SoC)을 중국 비트코인 채굴장비업체 마이너바 반도체에 공급했다고 보도했다. 그동안 SMIC는 중국 내 유일하게 14nm급 공장(상하이 8,9 공장)을 보유했고, 2018년 초부터 EUV 노광기(7nm 급)를 도입하려 했으나, 미국의 제재로 제약을 받고 있는 것으로 알려졌다.

중국은 EUV 노광기가 없기 때문에 DUV로 할 수 있는 모든 것을 시도해야 할 것이다. 현재 DUV 노광기의 광원은 193nm 에 불과하고, 이론적으로 20nm 이하 반도체를 만들 수 없다. 하지만 반도체 회로 패턴을 여러 면에 나눠 만드는 '멀티패터닝'(Multi-Patterning) 기술이 등장하면서 한계를 극복할 수 있게 되었다.

노광(Litho)과 식각(Etch)을 두번 거치면 앞 글자를 따서 'LELE'라고 부르고, 세번이면 'LELELE'로 부른다. 또한 자기정렬 4중 패터닝(SAQP, Self-Aligned Quadruple Patterning) 방법도 사용된다. 하지만 멀티 패터닝은 해상력을 극적으로 높일 수 있는 반면, 동시에 공정 수가 늘어나면서 그만큼 시간과 비용이 더 들어가는 단점도 가지고 있고, 공정의 복잡도가 높아져서 수율 또한 떨어지게 된다.

ASML에 따르면, ArFi 노광기로 싱글 패터닝을 했을 때의 비용(투자비, 운영비, 노광 및 소재 비용)을 100%로 가정하면, LELELE는 450% 이상, SAQP는 800%에 가까운 비용이 소요된다고 한다. EUV 장비를 활용하면 초기 투자비와 운영비가 ArFi 보다 많이 높지만, 패터닝 작업을 한 번만 하면 되기 때문에 원가는 ArFi 비용 대비 300% 이하로 내려간다는 분석이다.

정리하면, 14nm DUV 장비로 7nm 반도체를 제조할 수는 있다. 하지만 원가는 1.5~2.7배 소요되며 소요시간이 길어지고 생산수율이 크게 떨어질 것으로 예상된다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = ArFi 멀티패터닝과 EUV 싱글패터닝의 비용 비교 (출처: ASML, 2015). 2022.08.22 chk@newspim.com

◆ '반도체 굴기' 중국은 희망이 있는가

노광기가 없으면 반도체를 제조할 수 없다. 7nm 이하 최첨단 반도체 제품을 만들려면 EUV 노광기가 필수적이다. 경과 과정으로 먼저 ArFi DUV 액침노광기 개발도 필요하다.

이런 상황에서 중국은 반도체 굴기를 완성하기 위해서는 노광기 국산화가 선택 사항이 아닌 필수사항이다. 특히 중국은 반도체 기술 도움을 받을 동맹이 하나도 없는 상황에서 모든 문제를 혼자 해결해야 하는 외로운 상황에 놓여있다.

중국 반도체 자립 가능성을 세계 최첨단 기술의 총아인 우주탐사 기술을 예로 들어 설명해보자. 미국은 2012년 8월 화성에 탐사선을 착륙시켰고, 로버가 화성표면을 여기저기 탐사하면서 토양샘플을 채취하고 있다. 최근 미국항공우주국(NASA)은 채취된 토양샘플을 2033년 지구로 가져올 계획이라고 발표했다.

한편 중국은 미국보다 9년 늦은 2021년 5월 탐사선을 화성에 착륙시켰고 탐사로버 '주룽'(祝融, Zhurong)호가 화성 토양샘플을 채취중인 것으로 알려졌다. 하지만 중국국가항천국(CNSA)은 최근 '주룽'이 채취한 토양 샘플을 미국보다 한 발 앞선 2031년 지구로 회수할 계획이라고 밝혀 세계의 주목을 끌었다.

실제 이런 상황이 현실화한다면, 미국 보다 근 10년이나 늦게 화성에 탐사선을 보낸 중국이 먼저 화성 토양 샘플을 분석하고, 화성 생명 존재의 비밀을 밝혀낼 수도 있다. 중국은 지금 반도체 기술 분야에서도 이런 반전과 추월을 기대하고 있을지 모른다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = 중국 화성 탐사로버 주룽(祝融)호와 착륙선 셀카 (츨처: 바이두, 2022.8). 2022.08.22 chk@newspim.com

<필자 약력>

베이징대학 한반도연구소 연구원
중국 한국창업원 원장
SV인베스트먼트 고문
전 산업은행 베이징지점 고문
서울대 조선해양공학 학사/석사

베이징= 최헌규 특파원 chk@newspim.com

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퇴직급여 사외적립 2030년 전면 의무화 [세종=뉴스핌] 양가희 기자 = 2030년부터 전 사업장에 퇴직급여 사외적립 의무가 적용된다. 중소기업이 의무화 적용 시점보다 먼저 퇴직연금을 도입하면 정부는 재정 지원 및 경영자금 융자 등을 지원한다는 계획이다. 전문성을 갖춘 수탁법인이 퇴직연금 적립금을 대신 운용하는 기금형 퇴직연금 제도도 활성화한다. 중도 인출 방지를 위해 퇴직연금 담보 대출 상품이 나올 수 있도록 법과 제도도 개편한다. 정부는 이 같은 내용이 포함된 퇴직연금 기능 강화 방안을 29일 발표했다. 정부는 이 방안을 지난 28일 경제관계장관회의에서 관계부처 합동 안건으로 논의한 이후 이날 국회 기후에너지환경노동위원회와 당정협의를 거쳐 확정했다. 이번 방안은 지난 2월 노사정 공동선언 내용을 구체화한 것으로, 전 사업장에 퇴직급여 사외적립 의무를 법으로 규정한다는 것이 핵심이다. 사외적립 의무화는 임금체불 위험성을 낮추는 효과도 거둘 수 있다. 지난해 기준 임금체불 액 중 퇴직금이 차지하는 비율은 41.1%(8229억원)에 달한다. 퇴직연금 기능강화방안 [자료=고용노동부] 이번 기능 강화 방안 내용을 담은 근로자 퇴직급여 보장법 개정안은 다음 달 나올 예정이다. 개정안이 연내 통과될 경우 사외적립 의무는 상시 근로자 수 100인 이상 사업장에 2028년 1월부터 의무화된다. 10인 이상 100인 미만 사업장은 2029년 1월부터, 10인 미만 사업장에는 2030년 1월부터 적용된다. 이 같은 단계적 도입은 지난 4월부터 7월까지 퇴직연금 미도입 사업장 1500곳 대상으로 실시한 실태조사 결과를 반영한 조치다. 중소기업 부담 완화를 위한 조기 도입 사업장 재정 지원과 경영자금 융자 비용 보전 사업도 신설됐다. 각각 내년 예산 정부안에 60억원, 62억원 규모로 반영됐다. 정부는 30인 미만 중소기업이 의무화 적용 시점에 앞서 퇴직연금을 도입하면 최저임금 130% 미만 근로자의 부담금 10%를 사용자에게 지원한다. 50인 미만 중소기업이 퇴직연금 신규 도입 후 1개월이 지나면 경영자금을 융자할 때 대출금리 2%포인트(p) 이차보전을 지원한다. 의무화 적용 시점이 지났는데도 퇴직연금을 도입하지 않은 사업장은 근로복지공단이 운영하는 중소기업 퇴직연금기금 제도인 푸른씨앗에 자동 가입할 수 있도록 한다. 사업장이 원하지 않으면 이를 탈퇴할 수 있는 선택권도 보장된다. 이후에도 퇴직연금을 도입하지 않는 사업장은 과태료 등 제재를 받을 예정이다. 푸른씨앗은 내년 1월부터 100인 이하 사업장까지, 2028년 1월부터는 300인 이하 사업장까지 가입할 수 있도록 가입 범위가 확대된다. 정부 방침은 퇴직연금을 중도 해지하지 않고 노후를 위한 연금으로 받도록 지원한다는 것이다. 주거나 의료비 등으로 목돈이 필요할 때를 위해 퇴직연금 담보 대출 상품이 나올 수 있도록 법과 제도도 손질한다. 퇴직급여를 받게 됐을 때 연금 수급을 기본 선택지로 하고, 의사를 표현한 경우에만 일시금으로 받을 수 있도록 한다. 연금소득 분리과세 한도는 현행 1200만원에서 1500만원으로 확대하고, 청년의 경우 소득 수준과 관계 없이 퇴직연금 납입액 15%까지 세액공제한다. 기금형 퇴직연금 제도를 활성화한다는 방침도 이번 발표를 통해 구체화됐다. 지난 2월 노사정 공동선언문에 따르면 기금형 퇴직연금 제도는 수탁법인 설립 주체를 기준으로 ▲금융기관 개방형 ▲연합형 ▲공공기관 개방형 세 가지 유형으로 나뉜다. 금융기관 개방형은 민간 금융사가 별도 수탁법인을 설립하고 불특정 다수 사업장의 퇴직연금 적립금을 기금화해 운영하는 방식이다. 연합형은 사용자 연합이 수탁법인을 세우거나, 전국 단위 노사 단체 연합이 불특정 사용자·가입자 대상으로 운영한다. 공공기관 개방형은 푸른씨앗이 확대되거나 이와 유사한 기금이 신설되는 방식이다. 기금형 퇴직연금 제도는 확정기여형(DC)과 개인형퇴직연금제도(IRP)에 적용된다. 한 사업장이 계약형과 기금형 퇴직연금을 복수 설정하거나 다수의 기금형 퇴직연금을 설정할 수 있다. 근로자 대표의 동의만 있다면 특정 기금형 퇴직연금을 기본값(디폴트)으로 설정하는 것도 가능하다. 기금형 퇴직연금 수탁법인이 되기 위해서는 노사와 전문가, 정부 등으로 구성된 인가위원회의 심의와 고용노동부 장관의 인가가 필요하다. 인가 체계는 기금의 난립을 방지하고 규모의 경제를 유지하기 위해 예비 인가·본인가 2단계 구조로 구성된다. 인가 요건은 인적·물적·재무요건으로, 재무 안전장치로 일정 규모 이상의 최소 자본금 요건을 설정한다. 정부는 수탁법인에 강력한 수탁자 책임을 부여하고, 법률에 가입자 이익 최우선의 원칙도 규정한다. 의무위반 시 수탁법인의 손해배상책임 및 가입자의 손해배상청구권을 명시한다. 운용과 이해상충 관리, 설명의무 위반 등 핵심 영역에 한해 입증책임을 전환해 수탁법인이 의무위반과 손실 간 인과관계 또는 고의과실이 없음을 입증하는 경우 손해배상 책임이 면책된다. 가입자의 손실보전과 사고 대응·복구에 활용할 수 있는 운영위험준비금도 의무 적립하도록 한다. 수탁법인의 성과를 평가하고 그 결과를 공시해 건전한 경쟁을 유도한다. 제재 처분 권한은 주무부처인 노동부에 두고, 각 기관의 전문성을 감독 전 과정에 반영할 수 있도록 감독협의회 등 관계부처 협력체계도 마련한다. 정부는 계약형 퇴직연금 제도도 손질할 예정이다. 퇴직연금 시장 규모와 변동성을 감안해 현재 70%인 IRP의 위험자산 투자 한도를 단계적으로 완화한다. DC형·IRP·중퇴기금의 투자가능상품을 확대하고, 디폴트옵션(사전지정운용제도) 상품 평가를 통해 질 낮은 상품은 퇴출한다. 퇴직연금 운용 과정에서 퇴직연금공단(가칭) 등 별도 수탁법인을 신설하거나 국민연금공단이 참여하는 방법 등 그간 의견 차이를 좁히지 못한 쟁점은 중장기적으로 검토한다. 특히 국민연금공단의 참여 여부나 그 방식에 대해서는 국회 차원의 논의가 필요하다는 것이 정부 입장이다. 퇴직급여 적용 기준을 근속기간 6개월로 줄이거나 일할 계산을 채택하는 방안 등은 경제사회노동위원회의 노사관계 제도발전위원회가 사회적 대화를 통해 논의한다는 계획이다. 김영훈 노동부 장관은 "퇴직연금 기능강화 방안은 노사정이 함께 머리를 맞대어 도출한 사회적 합의의 결과물로, 노후 소득의 안정성과 수익성 간의 균형을 맞춰 노동자의 노후를 든든하게 지켜내는 제도적 기반을 세운 것"이라며 "개정 법안이 12월 국회 본회의에서 통과될 수 있도록 입법 추진에 총력을 기울이고, 의무화 일정에 맞춰 현장 지원체계를 빈틈없이 구축하겠다"고 밝혔다. sheep@newspim.com 2026-10-29 09:00

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[단독] LH 중심 도심복합사업 바뀐다 [서울=뉴스핌] 이동훈 선임기자 = 한국토지주택공사(LH)가 전면 수용 방식으로 추진하는 공공 정비사업인 도심공공주택복합사업의 서울 지역 사업장 중 절반가량을 서울시가 맡아 시행할 전망이다. 서울시는 내년 1분기 예정인 국토교통부의 추가 도심복합사업 후보지 공모에도 참여할 계획이다. 사업 참여를 활성화하고 원활한 추진을 뒷받침하기 위해 사업비를 시공자와 공동 부담하는 방안도 검토하고 있다. 그동안 정부사업으로 서울시가 방관했던 도심공공주택복합사업에 서울시가 50%까지 시행한다는 방침을 밝혔다. 사진은 서울의 도심복합사업 후보지 모습 [사진=뉴스핌DB] ◆ 국토부, 서울시에 도심복합사업 50% 시행권 넘겨…사업장 분할·공동 시행 내달 확정 29일 국토교통부와 서울시 등에 따르면 서울시는 지난달 도심공공주택복합사업 후보지로 지정된 서울 지역 사업 물량의 50%를 서울주택도시개발공사(SH)가 시행하기로 했다. 서울시가 전체 사업 물량의 절반에 대한 시행권 이양을 국토부에 요청했고, 국토부가 이를 승인하면서 사업구역 또는 물량을 분할하는 작업이 늦어도 다음 달까지 마무리될 전망이다. 국토교통부는 지난달 30일 도심공공주택복합사업 후보지 공모 결과를 발표했다. 공모를 추진한 지 3년 만이다. 서울에서는 용산구 효창공원앞역(서울지하철 6호선), 양천구 염창역(9호선), 서초구 이수역(4·7호선) 일대 등 총 11곳이 후보지로 선정됐다. 공급 규모는 1만8000여 가구다. 유형별로는 용적률을 높여 고밀 개발하는 역세권 유형인 주거상업고밀지구가 6곳, 노후 저층 주거지를 아파트 단지로 정비하는 주택공급활성화지구가 5곳이다. 도심복합사업은 민간 재건축·재개발과 달리 토지등소유자가 조합을 설립해 사업을 시행하는 방식이 아니라, 공공이 토지등소유자의 토지 지분 등을 수용해 사업을 추진하는 방식이다. 사업이 완료되면 기존 토지등소유자에게 주택을 현물로 보상하거나 현금으로 보상하며, 세입자에게는 공공임대주택 입주 기회가 제공된다. 국토부 관계자는 "서울시가 서울시내 도심복합사업의 절반에 대해 시행 참여를 요청해 이를 수락한 상태"라고 말했다. 서울시는 이번 공모결과에서 선정된 11개 구역 1만8000가구부터 사업 시행에 참여한다. 서울시가 참여하면 지방자치단체가 도심복합사업에 참여한 첫사례가 된다. 다만 사업 물량을 구체적으로 어떻게 나눌지는 아직 확정되지 않았다. 서울시는 전체 사업 물량의 절반을 맡아 시행하겠다는 입장이다. 하나의 사업장을 국토교통부 산하 한국토지주택공사(LH)와 서울시 산하 서울주택도시개발공사(SH)가 공동으로 시행해 각각 절반씩 주택을 공급하는 방안이 거론된다. 그러나 국토부는 단일 사업장을 LH와 SH가 공동으로 시행할 경우 사업 추진 과정에서 혼선이 발생할 수 있다고 보고, 사업장별로 시행 주체를 나누는 방안을 서울시에 권고한 상태다. 국토부 관계자는 "전체 11개 사업장 가운데 절반에 해당하는 5곳 정도를 서울시가 맡는 단일 시행 방식으로 추진할 것을 서울시에 권고했다"고 말했다. 서울시는 아직 시행 방식에 대한 결론을 내리지 못한 상태다. 서울시 관계자는 "당초 구상대로 LH와 SH가 공동 시행해 전체 공급 물량의 절반씩을 맡을지, 사업장별로 시행 주체를 나누는 단일 시행 방식으로 추진할지는 아직 결정되지 않았다"고 말했다. 도심복합사업은 사업 신청과 승인 과정에서 자치구와의 긴밀한 협의가 필요한 사업이다. 이에 사업장별로 시행 주체를 나눌 경우 자치구의 정치적 성향에 따라 서울시의 사업 참여에 제동이 걸릴 수 있다는 관측도 나온다. 이번 공모에서 후보지로 선정된 서울 지역 11개 사업장 가운데 오세훈 서울시장과 같은 야당 소속 구청장이 있는 서초·송파·양천·용산구에는 각각 1곳씩, 총 4곳의 후보지가 포함됐다. 나머지 7곳은 여당 소속 구청장이 있는 6개 자치구에 분포해 있다. 이들 자치구가 서울시 산하 SH보다 정부 산하 LH의 사업 시행을 선호할 가능성도 제기된다. 이 때문에 서울시가 사업장별 분할 방식에 선뜻 합의하지 못하고 있다는 분석이 나온다. 업계 관계자는 "사업장별로 시행을 분담하면 서울시는 같은 야당 소속 구청장이 있는 자치구의 사업장을 주로 맡게 될 가능성이 있다"며 "이 경우 서울시가 도시계획과 주택 정비사업에서 주도권을 확보하기 어려워질 수 있다는 부담이 작용할 것"이라고 말했다. 여기에 여당과 정부가 정비사업 지정 권한을 자치구로 이양하는 내용의 도시정비법 개정을 추진하고 있는 점도 변수다. 국토부는 서울시에 조속한 시행 방식 결정을 요구하고 있으며, 서울시는 오는 11월까지 방침을 정하겠다는 입장이다. ◆ 서울시, 내년 공모 물량도 절반 참여 유지…사업비 마련 위한 시공자 공동사업 검토 서울시는 이번 공모에서 선정된 11개 사업장을 시작으로 도심공공주택복합사업 참여를 본격화한다는 계획이다. 이번 공모 물량의 절반을 맡는 것을 시작으로 내년 이후에도 전체 사업 물량의 50%를 시행한다는 방침이다. 앞서 지난 4월 도심복합사업 참여를 선언한 서울시는 SH에 관련 부서를 신설하는 등 조직 개편도 단행했다. 다만 구체적인 사업 참여 방식은 아직 확정되지 않았다. 서울시는 모아주택·모아타운처럼 자체 공모를 통해 사업지를 선정하는 방식과 국토부 공모에 참여하는 방식 가운데 하나를 결정할 방침이다. 국토부는 내년 3~4월께 추가 공모를 진행할 예정이다. 자체 공모를 추진할 경우 자치구별 정치적 이해관계에 따라 사업 추진에 변수가 생길 수 있는 만큼, 국토부와 공동으로 공모를 진행하는 방안에 무게가 실린다. SH가 시행하는 사업의 원활한 추진을 위해 사업비 조달 방식도 손질할 계획이다. 서울시는 사업비 부담을 낮추기 위해 서울시와 시공자인 건설업체가 사업비를 공동으로 부담하는 방안을 검토하고 있다. 도심복합사업은 공공이 토지 등을 수용하는 방식으로 추진되는 만큼 토지보상비가 필요하고, 공사비 역시 사업 시행자가 부담해야 한다. LH는 국가 재정과 공공 재원을 활용해 사업비를 조달할 수 있지만, 서울시는 재정 여력이 상대적으로 제한적인 만큼 대규모 사업을 안정적으로 추진하려면 별도의 재원 조달 방안이 필요하다는 지적이 나온다. 시공자와 사업비를 분담하는 방식이 도입되면 초기 재정 부담을 낮추는 데 도움이 될 수 있지만, 구체적인 분담 구조와 건설업체의 참여 유인 등을 마련하는 것이 과제로 꼽힌다. 이를 타개하기 위해 서울시는 시공자와 사업비를 공동 부담하는 방식으로 도싱복합사업을 추진할 것을 검토하고 있다. 즉 서울시 재정으로 토지보상비를 지급하고 공사비는 시공자가 부담한 후 분양 이후 자금을 회수하는 방식이다. 서울시 관계자는 "이미 올 상반기 공공주택 건립을 위한 도심복합사업 참여를 선언한 바 있다"며 "원활한 사업 추진을 위해 시공자 공동사업도 검토하고 있는 상황"이라고 말했다. donglee@newspim.com 2026-10-29 06:00