[뉴스핌=백현지 기자] 테스는 산업통상자원부가 지정한 세계일류상품에 '산화막건식세정장비'가 선정됐다고 20일 밝혔다.
이번에 선정된 '산화막건식세정(Oxide Dry Cleaning) 장비'는 플라즈마를 사용하지 않고 건식 식각(Etch)기술을 이용해 웨이퍼(Wafer) 표면에 불필요한 부분을 제거하는데 사용되는 전공정 핵심장비다.
특히 올해 세계일류상품에 선정된 유일한 반도체 장비라는 게 회사측의 설명이다.
회사 측에 따르면 300mm 웨이퍼용 산화막 건식세정장비는 테스가 2010년도에 국내 최초로 양산에 성공해 현재까지 국내 장비업체 중 유일하게 양산중인 제품이다.
이재호 테스 사장은 "세계일류상품선정에 자만하지 않고 변화하는 기술트렌드에 적극 대응해 고객만족도 및 세계시장 점유율 향상을 위해 연구개발을 더욱 강화할 계획이다"고 말했다.
한편, 세계일류상품은 대한민국 대표상품을 육성하기 위해 산업통상자원부에서 선정하는 것으로 '세계시장 연 5000만달러 이상', '글로벌 점유율 5위 이내' 등의 기준과 심사를 거쳐 선정된다.
산화막건식세정장비 모습 |
[뉴스핌 Newspim] 백현지 기자 (kyunji@newspim.com)