[뉴스핌=곽도흔 기자] 원익아이피에스는 3일 가스분사장치 및 이를 구비하는 기판처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.
이는 반도체 제조장치에서 가스분사장치에서 공급되는 공정가스의 흐름을 원활하게 하고 파티클 발생을 억제하기 위한 기술이다.
이 회사는 당사 반도체 장비에 적용해 경쟁력 강화해 활용할 계획이다.
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[뉴스핌 Newspim] 곽도흔 기자 (sogood@newspim.com)