에이디피엔지니어링은 게이트 밸브에 대한 특허를 취득했다고 28일 발표했다.이번 발명은 게이트 밸브를 이용하면 게이트 밸브의 동작과정에서 발생할 수 있는 파티클 등이 클린룸 내로 비산되지 않는 장점이 있다고 회사측은 설명했다. 에이디피엔지니어링은 이를 액정표시장치 제조장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획이다.[뉴스핌 Newspim] 고계희 기자 cen2222@nate.com
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기사입력 : 2006년06월29일 12:55
최종수정 : 2006년06월29일 12:55