한미반도체는 자외선 조사장치, 자외선 조사장치를 구비한 반도체 처리장치 및 웨이퍼 쏘잉 장치를 구비한 반도체 처리장치에 대한 특허를 취득했다고 23일 발표했다.이번 발명은 점착테이프에 부착된 웨이퍼(Wafer) 또는 스트립(Strip)으로부터 패키지를 용이하게 분리하기 위해 자외선으로 조사하는 반도체 제조공정용 자외선 조사장치에 관한 것이고, 이러한 자외선 조사장치를 구비한 반도체 처리장치와 쏘잉장치를 인라인 형태로 구비한 반도체 처리장치에 관한 것이라고 회사측은 설명했다.회사측은 이를 지지프레임에 부착된 반도체 웨이퍼 또는 스트립으로부터 패키지를 용이하게 분리하기 위한 픽 앤 플레이스먼트 장비에 활용할 계획이다.[뉴스핌 Newspim] 고계희 기자 cen2222@nate.com