[서울=뉴스핌] 배요한 기자 = 반도체 특수가스 국산화 선도 기업 티이엠씨는 미국 나스닥 상장사인 인테그리스(Entegris Inc., NASDAQ: ENTG)가 자사를 상대로 제기한 반도체 이온 주입용 안전용기 특허 소송에서 승소했다고 1일 밝혔다. 이에 따라 티이엠씨의 국산화 제품의 양산 공급이 더욱 확대될 예정이다.
본 소송은 2020년 12월 티이엠씨가 개발한 안전용기에 대해 인테그리스가 서울지방법원에 특허권침해금지 및 손해배상 소송을 제기하며 시작되었다. 하지만 특허심판원은 티이엠씨측의 손을 들어 해당 특허가 무효함을 심결했고, 이에 따라 처음 서울지법에 제기된 소송도 지난 10월 기각되었다. 이후 추가 항소 없이 약 2년 만에 소송이 완전히 종결되며 티이엠씨의 독자 기술이 인정된 셈이다.
양사가 특허권을 놓고 대치한 안전용기는 반도체 공정에 사용되는 맹독성의 특수가스 누출을 차단하는 기능을 가진다. 이온주입(Ion Implant) 장비가 운전되는 클린룸(Clean Room) 안에 장착되어 사용된다. 티이엠씨는 독자적 기술을 통해 안전용기(SVC Package, Safety Cylinder Valve) 개발 및 제조의 국산화에 성공하였으며 2021년부터 양산을 시작, 고객사에 공급해왔다.
티이엠씨가 자체적으로 개발하기 전에는 글로벌 공급사인 인테그리스 및 린데(Linde plc)가 전 세계 공급을 주도해왔다. 특허권에 대해 이번에 티이엠씨가 승소를 거둔 만큼 앞으로 반도체 특수가스 시장에서 티이엠씨 제품의 양산 확대 기회가 열렸다고 해석할 수 있다.
티이엠씨의 유원양 대표이사는 "이번 소송 진행을 통해 티이엠씨의 기술이 인정받게 되어 다행이라고 생각한다"며 "안정적인 소재 공급을 통해 해외 의존도를 낮추고자 하는 것이 티이엠씨가 궁극적으로 추구하고자 하는 가치"라고 설명했다.
지난 11월 초 코스닥 상장을 위한 예비심사 승인을 득한 티이엠씨는 앞으로도 신규 제품군을 확대하는 한편 희귀가스 재활용, 초저온 가스 생산 확대 등 다양한 비즈니스 모델을 구축해 나가며 고객 다변화에도 박차를 가하겠다는 계획이다.
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