[뉴스핌=조인영 기자] 에스엔유는 비접촉식 프리얼라인 장치 및 방법에 대한 특허권을 취득했다고 16일 공시했다.
에스엔유는 "기판에 물질을 증착하기 위해서는 기판과 마스크의 정렬시키는 얼라인작업이 중요하며, 얼라인 시간을 단축 시키기 위해 사전에 예비정렬하는 프리얼라인 장치에 관한 특허"라고 설명했다.
[뉴스핌 Newspim] 조인영 기자 (ciy810@newspim.com)
[뉴스핌=조인영 기자] 에스엔유는 비접촉식 프리얼라인 장치 및 방법에 대한 특허권을 취득했다고 16일 공시했다.
에스엔유는 "기판에 물질을 증착하기 위해서는 기판과 마스크의 정렬시키는 얼라인작업이 중요하며, 얼라인 시간을 단축 시키기 위해 사전에 예비정렬하는 프리얼라인 장치에 관한 특허"라고 설명했다.
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