대한광통신, 반도체 기판 균일 가열 특허 등록…'레이저 히터 사업' 확대
[서울=뉴스핌] 양태훈 기자 = 대한광통신은 국내 반도체 장비사와 협력해 출원한 '반도체 공정 장비용 대면적 기판 균일 가열 기술'에 대해 특허 등록 결정을 받았다고 29일 밝혔다...
2026-10-29 10:08
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