[서울=뉴스핌] 양태훈 기자 = 에이루트의 반도체 장비 자회사 앤에스알시(NSRC)가 최근 중국 반도체 기업과 140만달러 규모의 미세공정용 고해상도 노광장비 기술용역 계약을 체결한 데 이어 대만 반도체 기업으로부터 신규 수주를 확보했다.

앤에스알시는 대만 반도체 생산시설에 공급할 110만달러 규모의 아이라인(i-line) 리퍼비시 노광장비를 수주했다고 15일 밝혔다.

앤에스알시는 장비를 고도화하고 현지 고객사의 생산 라인에 맞춰 공급할 예정이다. 해당 장비는 반도체 웨이퍼 위에 회로 패턴을 형성하는 노광 공정에 사용된다.

회사는 지난해 대만 기업으로부터 수주한 리퍼비시 노광장비를 최근 납품한 뒤 이번 추가 계약을 체결했다고 설명했다.

앤에스알시는 앞서 대만 기업에 295만달러 규모의 리퍼비시 노광장비 납품을 완료했다. 이번에 수주한 장비는 연내 공급할 예정이다.

회사 측은 대만과 중국의 중소형 반도체 생산시설을 중심으로 리퍼비시 노광장비 수요가 늘면서 해외 수주도 확대되고 있다고 설명했다. 리퍼비시 장비는 기존 장비를 재정비·고도화해 공급하는 방식으로, 신규 장비보다 도입 기간과 비용을 줄일 수 있다는 게 회사 측 설명이다.

앤에스알시는 아이라인 장비가 생산 라인 증설이나 전환을 추진하는 중소형 반도체 생산시설에 활용될 수 있다고 보고 있다.

앤에스알시 관계자는 "지난해 대만 기업으로부터 수주한 리퍼비시 노광장비를 최근 납품하면서 추가 수주로 이어졌다"며 "기존 공급 실적을 기반으로 해외 수주를 확대하고 있다"고 말했다.

이어 "최근 295만달러 규모 장비 납품을 완료했고 이번 수주 장비도 연내 납품할 예정"이라며 "다수 국가의 반도체 기업과 추가 리퍼비시 노광장비 공급을 논의하고 있다"고 덧붙였다.

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