[베이징=뉴스핌] 조용성 특파원 = 중국에 두 번째 7나노(nm) 반도체 생산라인이 탄생할 것으로 전해졌다.

로이터 통신은 중국의 2위 파운드리(반도체 외주 제작) 업체인 화훙(華虹)반도체가 7나노 생산라인 완공에 근접했다고 복수의 익명 소식통 전언을 근거로 17일 전했다.

현재 중국에는 7나노 생산라인은 SMIC(중신궈지, 中芯國際)가 보유하고 있는 한 개 라인이 전부다. SMIC는 EUV(극자외선) 노광기에 비해 한 세대 이전 장비인 DUV(심자외선) 노광기를 이용해 멀티 패터닝하는 방식으로 7나노 반도체를 생산하고 있다. 멀티 패터닝 방식은 수율이 낮다는 단점이 있다.

중국은 미국의 제재로 인해 DUV 노광기와 EUV 노광기를 수입할 수 없는 상황이다. SMIC는 제재 이전에 도입한 DUV 노광기를 활용해 7나노 라인을 운영하고 있다.

중국에 제2의 7나노 라인이 들어선다는 것은 중국이 DUV 노광기 개발에 성공했음을 의미한다. 이는 중국이 7나노 반도체 라인을 몇 개 더 만들 수 있음을 의미하기도 한다.

매체에 따르면 화훙 반도체의 자회사인 화리(華力)마이크로일렉트로닉스가 올해 연말 7나노 라인을 완공할 것으로 전해졌다.

화리 마이크로가 올해 말 완공할 라인은 월 수천 장의 웨이퍼를 생산하게 되며, 생산량은 점진적으로 확대될 것으로 알려졌다.

화리 마이크로의 7나노 라인이 어떤 장비들을 사용했는지는 공개되지 않았다. 하지만 익명의 소식통들은 화리 마이크로가 지난해부터 화웨이와 함께 7나노 라인 개발을 해왔다고 전했다.

화웨이의 관계사인 사이캐리어(신카이라이, 新凱來)는 위량성(宇量昇)이라는 자회사를 거느리고 있다. 위량성은 노광기를 개발하고 있는 업체다. 지난해 9월 위량성이 개발한 DUV 제품을 SMIC가 테스트하고 있다는 소식이 전해지기도 했다.

중국 업체들이 아직 EUV 노광기를 만들어내지는 못한 것으로 전해지고 있다. 때문에 화리 마이크로의 7나노 라인 역시 DUV 장비와 멀티패터닝 기술을 활용했을 것으로 추정된다.

ys1744@newspim.com