[세종 = 뉴스핌] 김범주 기자 = 국내 연구진이 초미세 불순물을 획기적으로 흡착할 수 있는 '반도체 제조공정용 활성탄' 개발에 성공했다.
한국화학연구원은 월드카본과 공동 연구개발을 통해 '코크스 기반 활성탄'을 반도체 제조공정용으로 '특화된' 활성탄으로 개발에 성공했다고 7일 밝혔다.
이번 연구로 반도체 소재 부품 장비 중 핵심 소재인 '활성탄 산업' 부문 국내 기술경쟁력이 높아질 것이라는 전망이 나온다.
반도체 제조공정용 활성탄은 반도체 소재·부품·장비 중 핵심 소재다. 반도체 제조 과정에서 순수와 초순수, 가스 흡착, 폐수 처리 등에 사용되는 정밀 소재다. 현재 반도체 제조공정용 활성탄은 100% 수입하고 있다.
특히 한국화화연구원은 모든 코크스 활성탄 원천 기술개발 연구 결과를 월드카본으로 이전했다.
월드카본과 한국화학연구원이 개발한 활성탄 원료인 코크스는 원유 정제 과정에서 버려지는 석유 '잔사유(찌꺼기)'를 재활용한 것으로 탄소 감량 효과까지 검증했다.
코크스 기반 활성탄은 이차전지 음극제에 쓰이는 인조 흑연 소재로도 활용 가능해 향후 다양한 산업에 쓰일 수 있다는 전망도 나온다.
또 마이크로 기공이 기존 활성탄보다 월등히 높아 초정밀 제조 공정인 반도체제조공정용에 적합해 순수 및 초순수 생산에 필수 요소가 될 것으로도 예상된다.
한편 월드카본은 이번 개발 성과를 기반으로 베트남 호치민시에 현지 법인을 설립, 현지 활성탄 제조업체인 'GLOBAL CARB'와 OEM 생산을 위한 공동 업무협약(MOU)을 체결했다. 활성탄 국내 생산을 위해 연간 3만6,000톤 규모의 공장 설비를 갖춰 본격적으로 국내 생산에 돌입할 계획이다.
최신 활성탄 생산 설비를 갖춘 로타리킬른 기반의 Pilot 시설이 완비된 실험실도 구축했다. 활성탄의 시제품을 소규모로 생산해 최종 품질을 확인할 수 있는 핵심 장비인 로타리킬른을 갖추고 있어 관련 연구와 시제품 생산에 중요한 역할을 할 전망이다.
임지선 한국화학연구원 책임연구원은 "반도체 제조에 필수적인 고성능 활성탄을 국산화할 수 있게 되어 매우 기쁘다"며 "비표면적과 미세 기공률을 크게 높인 활성탄은 반도체의 정밀 제조공정에서 순수와 초순수 정제에 중요한 역할을 하게 될 것"이라고 소감을 밝혔다.
장정원 월드카본 대표는 "국내 반도체 산업의 중요한 소재인 활성탄을 국내 기술력으로 양산을 앞두고 있어 반도체 소재 국내 자립도를 높이고, 글로벌 시장에서도 경쟁력을 확보할 수 있게 됐다"고 말했다.
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