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"中 SMEE, 28nm 노광기 올해말 출시 전망"

기사입력 : 2023년08월02일 17:13

최종수정 : 2023년08월02일 17:13

[베이징=뉴스핌] 조용성 특파원 = 중국의 반도체 장비업체인 SMEE(상하이마이크로전자, 上海微電子)가 28나노(nm)급 노광기(포토리소그래피)를 올해 하반기에 출시할 것이라는 전망이 제기됐다.

SMEE가 연말까지 최초의 28㎚ 액침불화아르곤(ArFi) 기반 심자외선(DUV) 노광장비(모델명: SSA800-10W) 1대를 중국내 고객사에게 납품할 것으로 예상된다고 중국의 IT 전문매체인 아이지웨이(愛集微)가 2일 전했다.
SSA800-10W는 ASML의 DUV2000i와 유사하지만, 성능지표는 DUV2000i에 비해 높을 것으로 전해졌다. 현재 1년여 노광기 생산라인이 가동되고 있으며, 연말이면 소량 생산이 가능할 것으로 전해졌다.

2002년에 설립된 SMEE는 중국 최고의 노광장비 제조업체다. SMEE는 2009년 중국 최초의 저성능 노광기를 개발한 이후 2018년 90㎚ 노광기를 출시했다. SMEE는 2016년부터 중국 국가정책과제의 일환으로 28㎚ 노광장비 개발에 나서 2021~2022년에 납품하겠다는 목표를 세웠다.

중국이 자체적으로 28㎚ 노광장비를 개발할 경우, 현재 세계 최첨단인 5nm 노광기에 비해 성능은 떨어지겠지만, 성숙공정 반도체 분야에서 상당한 국산 대체효과를 불러일으키게 된다.

ys1744@newspim.com

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임기단축 개헌..."동의 안해" 55.5% [서울=뉴스핌] 이바름 기자 = 윤석열 대통령이 탄핵심판 최후진술에서 언급한 '복귀 후 임기단축 개헌 추진'에 대해 '동의하지 않는다'는 답변이 과반을 차지했다는 여론조사 결과가 27일 공개됐다. 종합뉴스통신사 뉴스핌이 미디어리서치에 의뢰해 지난 26일 전국 만 18세 이상 남녀 1002명을 대상으로 진행한 ARS(자동 응답시스템) 조사에서 '윤 대통령의 최후진술에서 임기단축 개헌 추진 언급'에 55.5%는 '동의하지 않는다'고 응답했다. '동의한다'는 34.0%, '잘모름'은 10.4%로 나타났다. '동의하지 않는다'는 응답은 연령별로 70대 이상, 지역별로는 부산·울산·경남을 제외한 모든 분류에서 50%를 넘었다. 연령별로는 40대가 67.6%로 비율이 가장 높았고, 50대(62.2%), 30대(57.2%), 60대(53.4%), 만18세~29세(50.9%) 순이었다. 유일하게 70대 이상은 '동의한다'가 44.3%로 '동의하지 않는다' 38.6%를 앞섰다. 지역별로는 광주·전남·전북 64.5%, 대전·충청·세종 60.8%, 경기·인천 58.4%, 대구·경북 56.9%, 강원·제주 54.2, 서울 53.0%가 '동의하지 않는다'고 답변했다. 부산·울산·경남만 '동의한다'는 대답이 43.4%로 '동의하지 않는다' 42.2%보다 우세했다. 지지정당별로는 역시나 정치 성향에 따라 갈렸다. 더불어민주당 지지자 87.5%가 '동의하지 않는다'를 선택했다. 국민의힘 지지자는 64.3%가 '동의한다'고 했다. 조국혁신당 지지자는 71.9%가 '동의하지 않는다'고 대답했다. 개혁신당 지지자는 '동의하지 않는다'가 41.5%, '동의한다'는 38.7%로 나타났다. 진보당 지지자는 '동의하지 않는다' 56.5%, '동의한다' 43.5%였다. '지지정당없음'에서는 '동의하지 않는다' 64.9%, '동의한다' 23.7%였다. 박상병 정치평론가는 "대통령이 복귀하지 못하고 탄핵이 될 거라고 보고 있는 것"이라며 "복귀한다고 하더라도 집권 기간이 2년이나 남아 있는데 개헌이 성사될 가능성이 없다, 신뢰가 낮다고 보는 거"라고 분석했다. 이번 조사는 무선 RDD(무작위 전화 걸기) 활용 ARS를 통해 진행됐다. 신뢰 수준은 95%, 표본 오차는 ±3.1%p, 응답률은 6.2%다. 자세한 조사 개요 및 내용은 미디어리서치 홈페이지와 중앙선거여론조사심의위원회 홈페이지를 참조하면 된다. right@newspim.com 2025-02-27 12:00
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