[부산=뉴스핌] 남경문 기자 = 동아대학교는 이현섭 교수가 사단법인 대한기계학회에서 효석학술상을 수상했다고 10일 밝혔다. 반도체 CMP 공정·장비 연구로 생산공학과 기계가공 분야 학문 발전에 기여한 공로다.

시상은 최근 대전에서 열린 '2026 대한기계학회 생산 및 설계공학 부문 춘계학술대회'에서 진행됐다.

대한기계학회는 1945년 창립된 국내 최대 기계공학 학술단체로 기계공학 연구 활성화와 산학협력을 통해 산업 기술 발전을 도모해 왔다.

학회는 2002년부터 생산공학, 기계가공, 공작기계 분야에서 학문 발전에 의미 있는 성과를 낸 연구자를 선정해 효석학술상을 수여하고 있다.

이 교수는 'Prediction of Normalized Material Removal Rate Profile Based on Deep Neural Network in Five-Zone Carrier Head CMP System(딥러닝 기반 5-Zone 캐리어 헤드 CMP 시스템의 정규화된 소재 제거율 프로파일 예측)' 등 연구를 통해 반도체 CMP(화학기계적 평탄화) 공정의 정밀 제어와 공정 성능 향상에 기여한 점을 높이 평가받았다.

학회는 이 교수의 연구가 생산공학 및 정밀 가공 분야의 이론과 응용 확대에 기여했다고 설명했다. 이 교수는 반도체 CMP 공정 및 장비와 관련해 국내외 학계와 산업계에서 연구 성과를 지속적으로 발표하며 관련 기술 발전을 이끌어 왔다.

CMP 장비 구조와 공정 조건에 따른 소재 제거 특성 예측, 공정 균일도 향상 등 실용적인 연구를 꾸준히 수행해 온 것으로 알려졌다.

학회 및 관련 단체 활동도 활발하다. 이 교수는 현재 한국정밀공학회 정밀가공부문 회장과 한국연마기술연구회 회장을 맡고 있으며 지난해에는 대한기계학회 생산및설계공학부문 회장과 한국트라이볼로지학회 학술이사 등을 역임했다.

수상 경력도 두텁다. 이 교수는 한국트라이볼로지학회 학술상과 석현학술상, 한국과학기술단체총연합회 과학기술 우수논문상, 대한기계학회 백암논문상 등을 받아왔다. 지난 2023년에는 산학연 협력에 이바지한 공로로 '기계의 날'에 산업통상자원부 장관 표창을 받았다.

이 교수는 "의미 있는 상을 받게 돼 책임감을 느낀다"며 "앞으로도 반도체 CMP 장비 및 공정 기술과 관련한 심도 있는 연구를 이어가고, 관련 분야 인재 양성에도 힘쓰겠다"고 말했다.

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