[서울= 뉴스핌] 박종서 기자= ㈜이큐테크플러스는 26일 '라디칼 고밀도와 반응유닛에 의한 반도체 박막 증착기술'이 산업통상자원부 국가기술표준원으로부터 'NET(New Eecellent Technology)' 신기술 인증을 획득했다고 밝혔다.

NET 신기술 인증은 산업기술혁신법에 따라 국내 최초로 개발했거나 기존 기술을 혁신적으로 개선한 신기술에 산업통상자원부가 부여하는 것이다.

NET 신기술 인증을 받은 '라디칼 고밀도화 반응유닛에 의한 반도체 박막 증착기술'은 반도체 제조 과정에 꼭 필요한 증착 공정에서 기존 공정보다 낮은 온도인 550~700℃의 열에너지를 이용해 라디칼을 생성시키는 것이다. 라디칼의 반응성을 최대화해 반응가스 고농도화에 의한 고밀도 라디칼 생성이 가능해 고품질의 박막을 생산할 수 있는  반도체 증착기술이다.

이를 통해 차세대 반도체 기술의 핵심인 5nm 급 이하 LOGIC·DRAM을 위한 산화막의 고품질화와 100단 이상 3D-VNAND에서 균일한 산화막 확보가 가능하다.  SiC 전력반도체 연구및 생산을 위한 산화 장비로도 사용할 수 있다.

이 기술은 에너지 절약, 그린에너지, 전력 효율화 추세에 따라 세계적으로 급성장중인 전력반도체에 활용할 수 있어 전기차 확대에 따라 배터리 기술과 함께 수요가 크게 늘고 있다.

김용원 이큐테크플러스 대표는 "전력반도체용 산화막 장비 개발이 완료되는 2024년 국내 전력반도체 산업 기술력 력 향상에 기여하고, 주력장비를 주로 수입에 의존하는 반도체 장비의 국산화율을 높일 수 있을 것"이라고 전망했다.

이큐테크플러스 (대표 김용원 ·오른쪽)가 산업통상자원부로부터 NET 신기술 인증을 받았다. [사진= 이큐테크플러스]

한편 이큐테크플러스는 NET 인증 기술을 바탕으로 2022년도 중소기업 기술혁신개발 사업 '소부장 전략'과제에 선정돼 전력반도체용 산화막 장비 개발을 시작했다.

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