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SK海力士M16工厂竣工 首度采用极紫外光刻技术

기사입력 : 2021년02월01일 14:04

최종수정 : 2021년02월01일 14:04

1日,韩国SK海力士在京畿道利川园区举行M16半导体工厂竣工典礼。该工厂是SK海力士在国内外持有的生产线中规模最大的一座,首次采用极紫外光刻(EUV)工艺,未来将量产新一代D-RAM芯片。

M16工厂全景。【图片=SK海力士】

当天上午,SK海力士在京畿道利川园区举行M16工厂竣工典礼,并宣布进入量产前的试运营阶段。SK集团会长崔泰源、SK首席副会长崔再源等公司高层出席活动。

崔泰源发表讲话说,就在半导体行业呈现跌势的两年前,我们建造了M16工厂,但是外界对公司的这一决定感到忧虑。但现在半导体进入新的周期,因此困难时期公司的果断决定让我们憧憬更远大的未来。

崔泰源补充道,公司希望借M16工厂的竣工创造经济价值,更希望与合作企业相扶相助,并在环境保护、地区社会发展等ESG(环境、社会、支配结构)等方面探索更多可能。

SK海力士透露,M16工厂于2018年11月开工建设,斥资3.5万亿韩元;当时建造该工厂动员人力334万人次,耗时25个月完工。工厂建筑面积5.7万平方米,足有8个足球场大小,是公司国内外拥有的生产线中规模最大的一座。

SK海力士曾发表未来规划,称2014年起的十年间,公司将新建三座大型半导体工厂。2015年M14利川工厂竣工,2018年M15清州工厂竣工。随着今年M16利川工厂的竣工,对公司来说不仅意义非凡,也让公司的这一目标提前了三年完成。

尤其是M16工厂首次采用极紫外光刻工艺。SK海力士将根据试运营结果,计划今年6月起量产,下半年正式生产第4代10纳米级(1a)D-RAM。

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