[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체 장비 업체 '유니셈'이 친환경 반도체 공정용 이산화탄소(CO₂) 칠러를 앞세워 차세대 온도 제어 시장 선점에 나섰다. 글로벌 온실가스 규제 강화 흐름에 맞춰 고(高)지구온난화지수(GWP) 냉매를 대체할 수 있는 장비를 선제적으로 개발하며 중장기 성장 동력을 확보하겠다는 전략이다.

유니셈은 서울 삼성동 코엑스에서 열린 '세미콘 코리아 2026'에서 반도체 공정용 CO₂ 칠러(Chiller) 기술을 공개하며 친환경 온도 제어 솔루션을 선보였다. 회사는 지난해 8월 CO₂ 칠러 개발을 완료했으며, 현재 국내외 고객사를 대상으로 성능 및 안정성 검증을 위한 테스트를 진행 중이다.

13일 세미콘 코리아 현장에서 만난 유니셈 관계자는 "CO₂ 칠러는 GWP 규제 대응 차원에서 고객사 요구에 맞춰 개발한 장비로, 현재는 양산 단계가 아닌 평가 단계"라며 "국내는 물론 미국·유럽 고객사와도 병행 테스트를 진행하고 있다"고 설명했다.

이어 그는 "미국은 당초 올해부터 규제가 시행될 예정이었지만 오는 2030년으로 유예됐고, 국내도 2032년까지 시간이 있어 장기적인 관점에서 접근하고 있다"며 "본격적인 양산 적용은 2028~2029년 이후 시장 상황을 보며 이뤄질 가능성이 크다"고 덧붙였다.

칠러는 세정·증착·식각 등 반도체 주요 공정에서 챔버와 웨이퍼의 온도를 정밀하게 제어하는 핵심 장비다. 공정 안정성과 수율에 직결되는 만큼 고성능·고신뢰성 설계가 요구된다. 공정 미세화가 진전될수록 온도 편차 허용 범위가 좁아지면서, 온도 제어 기술은 생산 경쟁력을 좌우하는 요소로 평가받는다.

유니셈의 CO₂ 칠러는 기존에 널리 사용되던 R-404A 냉매(GWP 3922)를 대체하는 친환경 솔루션이다. CO₂는 GWP가 1에 불과하고 독성이 없으며 불연성이라는 특성을 지닌다. 국제 환경 규제에 따라 고GWP 냉매 사용은 2027년 GWP 750 이하, 2030년 GWP 150 이하로 단계적으로 제한될 예정이어서, CO₂ 기반 장비는 규제 대응형 제품으로 주목받고 있다.

1988년 설립된 유니셈은 1999년 코스닥시장에 상장한 반도체 공정 장비 전문기업으로, 스크러버(Scrubber)와 칠러를 양대 주력 사업으로 영위하고 있다. 회사 보고서에 따르면 지난해 3분기 기준 칠러 매출은 전체의 약 43.9%를 차지해 최대 사업 부문으로 나타났다. 스크러버는 22.4%, 유지보수 및 기타 사업은 31.7% 수준으로 집계됐다.

유니셈 관계자는 "현재 매출을 견인하는 제품은 열교환식 타입 등 기존 주력 장비"라며 "CO₂ 칠러는 장기 규제 대응을 위한 차세대 제품군"이라고 말했다. 유니셈은 초저온(-100℃) 칠러, -80℃ 크라이오제닉 칠러 등 고부가 제품과 CO₂ 기반 친환경 장비를 병행 개발하며 차세대 포트폴리오를 확장하고 있다. 

한편 금융정보업체에 따르면 유니셈 지난해 연결 기준 잠정 매출은 2733억3043만원으로 전년 대비 25.29% 증가했으며, 영업이익은 109억0184만원으로 9.30% 늘었다. 주요 반도체 고객사의 설비투자 확대가 실적 회복의 배경으로 작용했다는 설명이다.

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