[고영화의 중국반도체] <6> 中 반도체 장비 국산화 몇 년 걸릴까 <下>

기사입력 : 2022년09월01일 09:11

최종수정 : 2022년09월01일 17:28

<上편에서 이어짐>

◆ 이탕반도체(Best-Semi), 미국 멧슨(Mattson) 인수 통해 건식식각기 기술 확보

이탕반도체(屹唐半导体, Best-Semi, 비상장)는 중국 중앙정부 국유기업 이좡궈퉈(亦庄国投)의 손자회사로 2015년 베이징경제기술개발구에 설립되었다. 설립과 동시에 2016년 미국 메슨 테크놀로지를 인수하여 선진 반도체 장비 기술을 확보하고, 2018년 베이징에 생산기지를 건설하여 사업기반을 더욱 단단히 다졌다. 2021년 8월 상하이 과창판 등록심사를 통과했으며 곧 상장을 앞두고 있다.

멧슨 테크놀로지(Mattson Technology, 나스닥: MTSN)는 1988년 켈리포니아 프리몬트에 설립되었고, 1994년 나스닥에 상장되었다. 1995년 괘속열처리(RTP) 장비를 첫 고객에게 인도했고, 1996년 식각 장비를 처음 납품했다. 2005년 건식PR(포토레지스트)제거(Dry Stripe) 장비를 출시했고, 2007년 'paradigmE' 건식식각(Dry Etch) 장비를 출시한 후, 2016년 5월 중국 이탕반도체에 인수되었다.

이탕반도체도 멧슨 인수 이후, 지속적으로 장비사업을 확장했다. 2018년에 베이징에 반도체 장비 공장을 설립하고 가동했으며, 2019년에는 'Novyka' 식각 및 표면처리 장비를 출시했고, 2020년에는 'Helios V' 쾌속 열처리 장비를 출시하는 등 신제품 개발을 이어갔다.

Gartner 자료에 의하면, 건식PR제거 장비는 2020년 세계시장 점유율 31.29% (1위)를 기록했고, 쾌속열처리 장비는 세계시장 11.50% (AMAT 이어 2위)를 기록하면서 두각을 나타냈다.

하지만 최근 이탕반도체가 더욱 주목을 받는 것은, 건식식각(Dry Etch) 장비가 65-5nm 시스템반도체, 10nm 계열 D램, 그리고 32~128단 3D 낸드플래시 제조에 적용될 수 있어, 미국의 선진 식각장비를 대체할 중국산 대안으로 기대되기 때문이다.

과창판 IPO 신청서에 따르면, 이탕반도체의 2021년 상반기 매출은 14억2000만 위안, 순이익 9520만위안이며, 특히 해외매출 비중이 67.7%로 괭장히 높은 수준이다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = 건식식각기 'paradigmE' (출처: 이탕반도체 홈페이지, 2022.8). 2022.09.01 chk@newspim.com

◆ 기대주 성메이상하이,신웬마이크로, 화하이칭커 및 즈춘과기

성메이상하이(盛美上海, ACM Research, 688082.SH)는 2005년 미국 ACM Research의 중국지사로 설립되었으며, 현재는 반도체 세정 장비의 중국 선두 업체이다. 2022년 상반기 예상실적을 보면, 매출 75% 증가, 순이익 160% 증가 등 큰 성장이 기대된다.

미국 ACM Research(나스닥:ACMR)는 중국계 미국인 후이 왕(Hui Wang) CEO가1998년 설립한 나스닥 상장 회사다. 독보적인 메가음파(Megasonic) 기술을 활용한 반도체 습식 세정 장비를 개발했고 전기도금 장비 입식열처리로 연마(CMP) 장비 등도 개발했다. 현재 상하이, 베이징, 한국, 대만, 미국에 지사를 설립했으며, 성메이 상하이의 지분 82.5%를 보유하고 있다.

신웬마이크로(芯源微, KINGSEMI, 688037.SH)는 중국 유일의 반도체 현상(Developing) 장비 전문회사이며, 28nm 현상 장비 외 PR 코팅기, PR스프레이, PR제거, 3세대 반도체 습식 식각기, 싱글 세척기 등을 개발 하고 있다.

신웬마이크로는 선양시 정부, 중국과학원 선양자동화연구소, 랴오닝 성정부가 공동 출자하여 2002년 선양시(沈阳市)에 설립했다. 2022년 상반기 실적 예상을 보면, 매출은 43.7% 증가, 순이익은 97.9% 증가가 기대된다.

화하이칭커(华海清科, HWATSING, 688120.SH)는 톈진시 정부와 칭화대학이 공동 출자하여 2013년 텐진에 설립한 반도체 연마광택(CMP) 장비 전문기업이다. 45~14nm급 12" CMP 장비 및 4"~8" CMP 장비를 공급하고 있으며, 12" 고급 제품이 매출의 85%를 넘고 있으나, 국내 매출 비중이 100% 이다.

주요 고객은 창장메모리(YMTC)과 화홍그룹(Huahong)이며, 2022년 상반기 예상실정을 보면, 매출 144% 증가, 순이익 163% 증가 등 큰 폭의 경영실적 향상이 기대된다.

즈춘과기(至纯科技, PNC, 603690.SH)는 고순도(기체/액체) 공정시스템, 반도체 습식 식각/세정 장비, 광센서 및 광소자 등을 주력 사업으로 하고 있다. 2000년 상하이에 설립되었고, 2022년 1분기 매출은 137.0% 증가했지만, 순이익은 70.8% 감소했다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = 중국 유일의 28nm 반도체 현상(Developing) 장비인 신웬마이크로(KINGSEMI)의 'KS-FT200/300' (출처: 신웨마이크로 홈페이지, 2022.8). 2022.09.01 chk@newspim.com

◆ 중국 반도체 장비 국산화율 20%에도 못미쳐

중국의 반도체 장비 국산화 수준을 가늠하기 위해, 중국 유일한 낸드플래시 메모리 기업 창장메모리(YMTC, 长江存储)를 사례로 살펴보자. 이 회사는 14nm 공정 파운드리 SMIC(중신국제), 19nm 공정 D램 양산기업 창신메모리(CXMT) 등과 함께 중국 최고의 장비 기술을 보유한 공장이다.

참고로 창장메모리는 22nm 공정의 제조라인을 보유하고 있으며, 2019년 9월부터 64층 256Gb TLC 3D 낸드플래시 제품을 양산했고, 2020년 4월부터는 128층 QLC 3D 낸드플래시(모델: X2-6070)를 월 6만장씩 양산 중에 있다.

창장메모리의 중국산 장비 도입 현황을 세분화된 공정별로 살펴보면, 식각, 화학증착, 연마, 세정 등 공정에서 중국산 장비 활용을 확대하고 있으나, 2020년을 기준으로 볼때 종합적인 국산화율은 16.1%에 불과하다.

현재 중국 반도체 장비 산업은 반도체 장비 선진국들과 기술 및 제품화 수준 격차가 상당히 많이 난다고 볼 수 밖에 없다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 =2020 창장메모리(YMTC) 중국산 장비 도입 비중 (출처: 팡정증권(方正证券)， 2021.1) 2022.09.01 chk@newspim.com

◆ 반도체 장비 '위기' 극복 위해 "양탄일성(两弹一星)" 정신으로 무장

2021년 9월 중국 공산당 100주년을 맞이하여, 중국공산당 중앙위원회는 '양탄일성'을 공산당원 정신 중 하나로 선정했다. 중국공산당 100년 역사 중 가장 중요한 과학적 성과라는 양탄일성이 의미하는 것은 무엇인가.

1945년 일본이 두차례 핵 공격을 받고 연합군에게 '항복'하는 것을 지켜본 중국은, 6.25 전쟁에 참전한 이후 미국이 중국 본토에 대해 핵공격을 하지는 않을까 하는 절대절명의 위협을 느끼고 있었다.

실제로 미국은 6.25 기간 중에 '북한 및 중국에 26개 핵폭탄 투하 목표지역을 선정'하고 맥아더 사령관에게 핵무기 사용권을 부여했다는 얘기가 전해지고 있다.

1949년 10월 신중국 건국 전 베이징에 입성한 중국 공산당 지도자들은 '수도 베이징에 탱크는 커녕 트랙터 한대 만들 만한 변변한 시설이 없다'고 한탄했다. 1950~1960년대 경제나 과학기술 모두 불모지 같은 상황에서 중국은 1964년 원자폭탄, 1967년 수소폭탄, 1970년 인공위성 발사를 성공시켰다. 중국은 이를 일컬어 "양탄일성(两弹一星)"이라고 한다.

중국 당국은 신중국 건국 70주년 기념 영화 '나와 나의 조국'(我和我的祖国, 2019년 상영)과 중국공산당 100주년 기념 영화 '나와 나의 부모'(我和我的父辈, 2021년 상영)에서 '양탄일성'을 위해 생애를 바친 많은 인민들의 희생을 기리고 있다. 요즘 중국은 미중 기술 전쟁의 와중에서 반도체 굴기를 성공시키기 위해 또다시 과거 '양탄일성' 정신을 되새기고 있는 것 같다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = '2021년 전국 과학기술행사주간 및 베이징 과학기술주간' 행사가 열리는 중관춘 국가자주창신시범구 전시장 중간에 전시된 원자탄, 수소탄, 인공위성 모형 (출처: 저자 촬영, 2021.5). 2022.09.01 chk@newspim.com

<필자 약력>

베이징대학 한반도연구소 연구원
중국 한국창업원 원장
SV인베스트먼트 고문
전 산업은행 베이징지점 고문
서울대 조선해양공학 학사/석사

베이징= 최헌규 특파원 chk@newspim.com

사진

스키즈, K팝 첫 美 빌보드 8연속 정상 [서울=뉴스핌] 최문선 기자 =테이프 '두 잇'(SKZ IT TAPE 'DO IT')'으로 미국 빌보드 메인 앨범차트 '빌보드 200'에서 1위를 차지하며, K팝 최초 '빌보드 200' 8연속 1위라는 기록을 세웠다. 30일(현지시간) 공개된 빌보드의 차트 예고 기사에 따르면, 이번 앨범은 12월 6일 자 '빌보드 200'에서 정상을 차지했다. [서울=뉴스핌] 류기찬 기자 = 빌보드 200 8연속 1위를 차지한 그룹 스트레이 키즈. ryuchan0925@newspim.com 이로써 스트레이 키즈는 자체 기록이었던 K팝 최초 7연속 1위를 넘어, 통산 8연속 1위를 달성하게 됐다. 스트레이 키즈는 2022년 3월 미니 6집 '오디너리'를 시작으로 미니 7집 '맥시던트', 정규 3집 '★★★★★(5-STAR)', 미니 8집 '락스타', 미니 9집 '에이트', 스페셜 앨범 '스키즈합 힙테이프 - 합(SKZHOP HIPTAPE - 合 (HOP))', 그리고 지난 8월 발표한 정규 4집 '카르마'까지 연이어 '빌보드 200' 1위를 차지하며 막강한 글로벌 영향력을 입증해왔다. 1956년 3월 시작된 '빌보드 200' 약 70년 역사에서, 첫 1위 진입 이후 여덟 작품을 연달아 정상에 올린 아티스트는 스트레이 키즈가 최초다. moonddo00@newspim.com 2025-12-01 10:53

사진

국힘 운명 걸린 2일 추경호 영장심사 [서울=뉴스핌] 이재창 정치전문기자 = 국민의힘이 오는 2일 당 진로의 중대한 분수령을 맞는다. 추경호 의원에 대한 법원의 구속 전 피의자 심문(영장실질심사) 결과에 따라 추 의원은 물론 당의 운명이 결정된다. 출구 없는 터널에 갇히느냐, 아니면 희망의 출구를 찾느냐는 영장 발부 여부에 달렸다. 구속영장이 발부되면 국민의힘은 내란 정당 프레임에 갇혀 사실상 생존을 걱정해야 하는 최대 위기를 맞게 된다. 내년 6월 지방선거 승리도 요원해진다. 반대로 영장이 기각되면 내란 정당 프레임에서 벗어나 비상계엄 이후 1년간 계속된 수세 국면에서 탈출할 수 있다. 대대적인 역공이 가능해져 지방선거에서 한판 승부를 겨뤄볼 수 있을 것으로 보인다. [서울=뉴스핌] 최지환 기자 = 장동혁 국민의힘 대표, 송언석 국민의힘 원내대표가 30일 오전 서울 서초구 서울고등검찰청 앞에서 열린 국민의힘 긴급의총에서 의원들과 구호를 외치고 있다. 2025.10.30 choipix16@newspim.com 추 의원의 구속 여부는 비상계엄 1년을 맞는 3일 새벽에 결정될 것으로 예상된다. 추 의원은 내란 중요임무 종사 혐의를 받고 있다. 윤석열 전 대통령의 내란에 협조했는지 여부다. 추 의원의 구속 여부에 중요한 정치적 의미가 부여되는 이유다. 추 의원 구속 여부에 따라 "국민의힘을 위헌 정당 해산으로 몰아가려는 내란몰이 정치공작"(추 의원)인지, 아니면 "의도적으로 (의원 총회) 장소를 변경한 것이 확인되면 내란의 중요 임무에 종사한 내란 공범"(정청래 더불어민주당 대표)인지가 가려지는 것이다. 적어도 정치적으로는 이런 해석이 가능하다. 법리적으로도 위헌 정당 해산에 무게가 실릴 수 있다. 그만큼 정치적 파장은 엄청나다. 구속 여부에 따라 민주당과 국민의힘 중 한 당은 심각한 정치적 타격을 받을 수밖에 없다. 따라서 여야 모두 촉각을 곤두세우고 있다. 이번 추 의원 영장 심사는 2023년 이재명 대통령(당시 민주당 대표) 건을 떠올리게 한다. 이 대통령은 백현동 개발사업 특혜와 쌍방울 대북 송금 의혹 등의 혐의로 체포동의안이 국회를 통과해 구속 심사를 받았다. 여기까지는 동의안이 국회를 통과해 영장 심사를 받는 추 의원과 닮은꼴이다. 당시 이 대통령에 대해 영장이 발부됐다면 이 대통령은 구속됐을 것이고 민주당은 심각한 위기에 빠졌을 것이다. 결과는 정반대였다. 이 대통령은 영장 기각으로 기사회생했고, 민주당도 살길을 찾았다. 추 의원과 국민의힘도 구속 여부에 따라 비슷한 수순을 밟을 것이다. 우선 추 의원에 대한 영장이 발부되면 국민의힘은 내란 정당 프레임에 갇히게 된다. 민주당은 국민의힘에 대해 대대적인 내란 정당 공세를 펼 것이다. 내란 정당 심판론은 민주당의 지방선거 전략이다. 국민의힘은 정당 해산이라는 최악의 위기를 맞을 수도 있다. 민주당은 위헌 정당 해산 심판 청구 카드를 만지작거리고 있다. 추 의원이 구속되면 당시 지도부에 속했던 국민의힘 의원들에 대한 수사가 확대될 가능성이 높다. 수사 대상에 오른 의원은 10여 명으로 알려져 있다. 이 중 일부도 사법 처리될 수 있다는 얘기가 나온다. 당내 갈등도 불거질 수 있다. 이미 비상계엄에 대한 사과와 반성을 놓고 이견이 표출되고 있다. 배현진, 김재섭 의원 등 소장파 의원은 당 지도부에 사과 메시지를 요구하고 이것이 받아들여지지 않으면 집단 행동에 나서겠다는 입장이다. 여기에는 20여 명 안팎이 참여할 것으로 전해졌다. 배 의원은 지난 29일 페이스북에 "진정 끊어야 할 윤석열 시대와는 절연하지 못하고 윤어게인, 신천지 비위를 맞추는 정당이 돼서는 절대로 절대로 내년 지방선거에서 유권자의 눈길조차 얻을 수 없다"며 "윤석열 시대와 절연해야 한다"고 말했다. 이런 와중에 당원 게시판(당게) 논란도 가열되고 있다. 당 지도부가 한동훈 전 대표를 겨냥한 당 게시판 논란에 대해 조사에 착수하겠다고 밝힌 데 따른 것이다. 한 전 대표는 "당을 퇴행시키려는 시도"라고 비판했다. 당게 논란과 사과 반성 메시지 불협화음이 맞물리면서 갈등이 심화할 가능성을 배제할 수 없다. 내란 정당 프레임에 갇히고 여기에 당내 갈등까지 겹치면 중도층 공략은 사실상 불가능해진다. 그렇지 않아도 각종 여론 조사에서 전국적으로 상당한 격차로 밀리는 것으로 나타나고 있다. 지방선거에서 참패할 가능성이 높아지는 것이다. 추 의원에 대한 영장이 기각되면 국민의힘은 내란 정당 프레임에서 벗어날 수 있다. 완전히 탈출하는 것은 아니지만 적어도 이 프레임은 동력이 떨어질 가능성이 높다. 민주당은 조희대 대법원장 등 사법부에 대한 공격에 나서겠지만 내란 정당 공세는 약해질 수밖에 없다. 국민의힘이 일단 기사회생할 수 있다. 국민의힘은 여권에 대한 대대적인 역공에 나설 것으로 보인다. 국민의힘은 3대 특검을 앞세운 민주당의 내란몰이가 입증됐다고 여권을 몰아세울 것으로 예상된다. 비상계엄에 대한 사과와 반성은 없던 일이 될 가능성이 높다. 당 지도부가 당내 갈등을 털어버리고 중도 공략에 나설 경우 지방선거 구도를 혼전 구도로 만들 여지도 없지 않다. 추 의원의 구속 여부가 적어도 연말 연초 정국의 향방을 결정하는 최대 변수가 될 것으로 보인다. 정국 주도권은 물론 지방선거 구도까지 좌우할 가능성이 높다. leejc@newspim.com 2025-12-01 06:00