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[서울=뉴스핌] 배상희 기자 = <中 거인의 공급망] ①특수가스 시스템 강자 '지순과기' 없으면 'YMTC'도 없다>에서 이어짐.

1. 반도체 공정 장비

자회사 즈웨이반도체(至微科技·ZHIWEISEMI)를 중심으로 반도체 웨이퍼 전공정에 사용되는 습식 세정 및 습식 식각 장비를 개발·제조한다.

주요 제품은 배치식 세정 장비와 단일 웨이퍼 세정 장비로, 확산·포토리소그래피(노광)·식각(애칭)·이온주입·박막 증착 등 주요 공정 전후의 웨이퍼 표면 세정에 활용된다. 제품 적용 분야는 로직 반도체, 고밀도 메모리, 첨단 패키징 및 화합물 반도체 등이다.

회사는 28나노 공정용 습식 장비 전 제품군 개발을 완료했으며, 고온 황산·과산화수소 혼합액(SPM, Sulfuric Peroxide Mixture) 세정, 핀펫(FinFET) 세정 등 고난도 공정 장비로 제품군을 확대하고 있다.

참고로 배치식 세정 장비는 여러 장의 웨이퍼를 세정액이 담긴 탱크에 동시에 투입해 세정하는 반도체 습식 공정 장비다. 한 번에 다수의 웨이퍼를 처리할 수 있어 생산성이 높으며, 웨이퍼 표면의 오염물과 공정 잔류물을 제거하는 데 사용된다.

아울러 FinFET 세정 장비는 미세 3차원 트랜지스터 구조의 공정 잔류물과 오염물을 제거하는 장비, SPM 세정 장비는 황산과 과산화수소 혼합액을 이용해 웨이퍼 표면의 유기물과 포토레지스트 잔류물을 제거하는 장비다.

2. 고순도 공정 시스템 통합

반도체 생산라인에 필요한 초고순도 특수가스 및 화학약품 공급 시스템을 설계·통합·설치하는 사업이다.

주요 제품은 고순도 특수가스 시스템, 고순도 화학약품 시스템, CMP(화학적·기계적 평탄화) 연마액 공급·회수 시스템, 전구체 공급 시스템 등이다. 웨이퍼 제조 과정에서 각 공정장비에 필요한 가스와 화학물질을 일정한 순도와 유량으로 공급하는 기반 설비라 할 수 있다.

고순도 특수가스 시스템은 식각·박막 증착·확산 등 건식 공정에, 고순도 화학약품 시스템은 웨이퍼 세정 등 습식 공정에 사용된다.

전구체 공급 시스템은 원자층 증착(ALD)·화학기상증착(CVD) 등 박막 증착 공정에 필요한 원료를 공급한다. 회사는 시스템 설계부터 장비 선정, 현장 시공, 설치 및 시운전까지 일괄 수행하는 역량을 보유하고 있다.

3. 공정 지원 장비

고순도 공정 시스템과 연계되는 개별 지원 장비를 독립적인 사업으로 운영한다.

주요 제품은 특수가스 공급 장비, 고순도 화학약품 공급 장비, CMP 연마액 공급 장비, 전구체 공급 장비, 공정 배기가스 처리 장비 및 건식 공정 장비용 가스 공급 모듈 등이다.

고순도 공정 시스템 및 지원 장비 사업 자체 브랜드 세이프트론(SAFETRON)을 중심으로 제품을 공급하고 있으며 가스 이송과 유체 제어, 화학물질 공급 등에 필요한 핵심 장비의 국산화에 주력하고 있다.

4. 전자재료 및 전문 서비스

반도체 생산라인의 안정적인 양산 운영에 필요한 소재와 현장 서비스를 제공한다.

전자재료 분야에서는 반도체급 대용량 가스 공급 사업을 영위하며, 12인치 웨이퍼 생산라인에 필요한 초고순도 전자급 가스를 공급한다.

전문 서비스 분야에서는 TGM(Total Gas Management )·TCM(Total Chemical Management) 상주 서비스를 통해 고객사의 가스·화학약품 공급 관리, 재고 최적화, 안전 모니터링 및 긴급 대응을 지원한다. 이와 함께 반도체 공정 장비의 챔버 부품 세정과 표면처리, 웨이퍼 재생 등 부품 관련 서비스도 제공한다.

참고로 TGM과 TCM은 반도체 팹(FAB)에 전문 인력을 상주시켜 가스와 화학약품의 공급·운영을 관리하는 서비스를 뜻한다.

5. 범반도체 및 기타 사업

반도체 분야에서 축적한 고순도 공정·유체 제어·청정 기술을 태양광, 바이오·제약 및 광전자 산업으로 확장하고 있다.

태양광 분야에서는 TOPCon·HJT 태양전지 제조에 사용되는 습식 텍스처링 장비를 공급한다.

참고로 TOPCon과 HJT는 기존 PERC(태양전지의 뒷면 구조를 개선해 발전 효율을 높인 기술) 태양전지보다 발전 효율을 높인 차세대 고효율 N형 결정질 실리콘 태양전지 기술이다. 빛을 전기로 바꾸는 과정에서 전하가 소실되는 현상(재결합)을 줄여 발전 효율을 높이는 것이 핵심이다.

습식 텍스처링은 태양전지 제조 과정에서 실리콘 웨이퍼 표면을 화학약품으로 처리해 미세한 요철 구조를 만드는 공정이다.

바이오·제약 분야에서는 스테인리스 바이오 반응기, 발효 시스템, 배합 시스템, 정제수 제조·분배 시스템 등을 제공한다. 광전자 분야에서는 광섬유 센서와 광전자 부품, 인공지능 기반 데이터 분석 및 산업용 스마트 감지 솔루션을 공급한다.

◆ 6대 핵심 자회사별 사업 및 제품라인

1. 지순시스템(至純集成·PNCSYS) : 고순도 공정 시스템 통합·공정 지원 장비

상하이지순시스템집성(上海至纯系统集成有限公司)은 지순과기의 핵심 사업인 고순도 공정 시스템 통합을 담당한다.

반도체 생산라인에 필요한 초고순도 특수가스와 화학약품 공급 시스템을 비롯해 CMP 연마액 및 전구체 공급 시스템 등을 설계·제작·설치한다.

건식·습식 공정 장비에 안정적으로 공정 매체를 공급하는 지원 시스템을 제공하며, 고순도 공정 시스템 및 지원 장비 사업 자체 브랜드 세이프트론(SAFETRON)의 각종 공정 지원 장비 사업과도 연계된다.

공식 홈페이지에 따르면 고순도 특수가스 및 화학약품 관련 장비의 누적 출하량은 1만6000대를 넘어섰다.

2. 즈웨이반도체(至微科技·ZHIWEISEMI) : 반도체 공정 장비

즈웨이반도체상하이유한공사(至微科技·至微半導體上海有限公司)는 반도체 공정 장비 사업을 대표하는 핵심 계열사로, 반도체 전공정 습식 세정 장비 개발과 제조를 담당한다.

배치식과 단일 웨이퍼 방식의 세정 장비를 중심으로 로직·메모리·화합물 반도체 및 첨단 패키징 공정에 대응한다.

S300 시리즈와 S300-D 플랫폼을 비롯해 고온 황산·과산화수소 혼합액(SPM, Sulfuric Peroxide Mixture) 세정, 핀펫(FinFET) 세정, 단일 웨이퍼 인산 세정 등 고난도 공정 장비를 개발하고 있다.

3. 즈이전자(至一電子·FINETRON) : 전자재료 및 전문 서비스

즈이고순도전자재료상하이유한공사(至一高純電子材料上海有限公司)는 반도체 생산라인에 필요한 초고순도 전자급 대용량 가스 공급 사업을 담당한다.

ppb(10억분의 1) 수준의 불순물 관리가 요구되는 반도체급 가스를 안정적으로 공급하기 위해 대용량 가스 생산·공급 시설을 설계하고 건설·운영한다.

고객사의 웨이퍼 생산라인에 장기적으로 가스를 공급하는 사업 모델을 갖추고 있어 전자재료 부문의 핵심 계열사로 분류된다.

<中 거인의 공급망] ③특수가스 시스템 강자 '지순과기' 없으면 'YMTC'도 없다>로 이어짐.

pxx17@newspim.com