[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 산업용 분석장비 전문기업 '아스타가 반도체 공정용 분석기기 양산 테스트를 시작하며 반도체 분야 진출에 속도를 내고 있다고 14일 밝혔다.
아스타는 최근 산업통상자원부의 '반도체 공정 실시간 진단 및 모니터링용 가스 질량분석시스템 양산성능평가 사업'에 선정됐다. 아스타에 따르면 비행시간형(Time-of-Flight, TOF) 질량분석 기술을 바탕으로 반도체 생산 공정에 최적화된 고감도 실시간 기체 분석 장비를 개발했다. 이미 개발된 장비를 세계적인 반도체 기업에서 양산평가를 하게 됐다고 전했다.
이번 사업은 반도체 제조 공정에서 사용되는 기체들을 실시간으로 고정밀 모니터링할 수 있는 질량분석시스템의 양산 성능을 평가하고, 생산 현장에 적용 가능한지 확인하는 것이 목표이다. 아스타는 국내 공인 인증기관을 통해 개발 장비의 기초 성능을 인증 검사를 수행하고, 곧 이어 해당 반도체기업에서 현장 적응 성능평가를 진행할 예정이다.
아스타가 개발한 GM-TOF는 기존 사중극자 방식의 잔류가스 분석기(RGA)에 비해 빠른 검출 속도와 높은 감도를 자랑하며, 변화가 민감한 반도체 공정 환경에 보다 유연하게 대응할 수 있다. 특히, 대부분의 부품이 모듈화 기반으로 표준화되어 있어, 장비 유지보수나 고장 시 기존 외산 장비처럼 오랜 시간을 기다릴 필요 없이 수 시간 내 수리가 가능하다. 이에 따라 장비 가동률을 크게 향상시킬 수 있을 것으로 기대된다.
TOF 기술이 접목된 아스타의 실시간 가스 모니터링 시스템(Real-Time Gas Monitoring System)은 공정 중 또는 공정 후 클리닝 과정에서 발생하는 다양한 기체의 조성 변화와 진공도 등을 신속하고 정밀하게 분석함으로써, 반도체 공정의 품질과 생산 수율 향상에 기여하는 핵심 장비로 평가된다.
현재 이러한 목적의 반도체용 잔류가스 분석장비는 대부분 해외에서 조달되고 있으며, 가격은 4억~6억 원대로 고가일 뿐 아니라 기술 지원 등의 제약도 크기 때문에 산업계에서는 보급형 가격대와 상시 기술지원이 가능한 장비의 필요성이 꾸준히 제기되어 왔다.
아스타 관계자는 "당사가 보유한 클라우드 기반 TOF-MS(Time-of-Flight Mass Spectrometer) 기술을 활용해, 경쟁사 대비 뛰어난 가격 경쟁력과 우수한 품질로 수입 장비를 대체함은 물론, 글로벌 시장 진출도 본격화할 계획"이라고 밝혔다.
업계에 따르면 아스타의 GM-TOF 장비는 초정밀 생산공정 외에도 화학사고의 신속 대응, 폭발물 탐지, 제한물질 모니터링, 산업현장 오염가스 분석 등 다양한 응용 가능성을 갖추고 있어, 이차전지 및 OLED 디스플레이 분야에서도 높은 관심을 받고 있다.
아스타 관계자는 이어 "TOF-MS 기술을 기반으로, 반도체 공정에서 발생하는 잔류가스를 기존보다 빠르고 정밀하게 중앙 및 현장에서 실시간 모니터링할 수 있는 시스템을 구축 중이며, 이를 2025~2026년 내 실제 생산현장에 적용하는 것을 목표로 하고 있다"고 전했다.
또한 그는 "이번 과제를 통해 산업용 최첨단 분석장비 분야로의 사업 확장을 추진하고 있으며, 의료 분야에서 축적한 기술력을 바탕으로 글로벌 종합 분석기기 전문기업으로 도약할 것"이라고 강조했다.
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