[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 원자현미경 전문기업 파크시스템스가 지난해 독일 기업 아큐리온 인수로 AVI 내재화가 가능해지면서 관련 기술을 적용한 제품 연구·개발에 집중하고 있다.

아큐리온은 파크시스템스가 지난해 10월 인수 완료한 독일 기업으로 이미징 분광 타원계측기(ISE) 및 제진대(AVI) 개발 기술을 보유하고 있다. 파크시스템스와 아큐리온의 시너지 효과에 주목하고 있다. 파크시스템은 외부에서 구입하던 AVI를 아큐리온 인수를 통해 AVI 내재화가 가능해졌다. 원가 절감에 크게 기여하면서 적용 가능한 장비 영역도 확대하고 있다.

파크시스템스 관계자는 18일 "ISE 기술로 새로운 산업용 어플리케이션의 개발과 향상된 AVI 제품 내재화가 가능하게 됐다"며 "연구용 ISE는 판매 중이며, 산업용에 적합한 제품 출시를 위해 연구 개발하고 있다"고 말했다.

파크시스템스 로고. [자료=파크시스템스]

파크시스템스는 아큐리온의 ISE 원천기술을 적용한 신규 장비를 개발하고 있다. 엘립소미터의 공간분해능력을 개선한 ISE 기술은 초박막 필름 특성 평가가 가능해 바이오 분석 등 마이크로 분석을 필요로 하는 산업용 애플리케이션에 확대 적용될 가능성이 높다. AVI는 계측장비에 쓰이는 진동 차단 장비다.

또한 파크시스템스는 지난해 12월 출시한 신규 장비인 EUV(극자외선) 마스크 리페어 (NX-Mask) 장비 사업이 호조세를 보이고 있다. EUV NX-Mask 장비는 EUV 마스크의 결함 측정 및 제거, 제거 후 검증까지 모든 과정을 하나의 솔루션으로 제공한다. EUV 공정에서의 생산원가를 절감하고, 디바이스 수율을 높일 수 있는 장비로 늘어나는 수주와 함께 고객사 확대에도 힘쓰고 있다.

파크시스템스 관계자는 "반도체 경기로 신제품에 대한 추가적인 수주는 진행되지 않았지만 주력 장비에서 매출이 꾸준히 발생하고 있다. 관련 장비 매출은 내년에 더 증가할 것을 기대하고 있다"며 "회사 실적에 있어서 4분기는 수주잔고를 토대로 호실적이 예상 된다"고 말했다.

박주영 KB증권 연구원은 "파크시스템스는 이미 EUV를 도입한 대부분의 반도체 제조사들에게 산업용 원자현미경을 납품하고 있어 NX-Mask로의 고객사 확장 가능성이 높다"며 " NX-Mask 장비가 포함된 산업용 장비는 연구용 대비 영업이익률이 2배 높은 것으로 추정돼 산업용 매출 비중 확대에 따른 마진율 개선이 전망된다"고 전했다.

파크시스템스는 최근 반도체 업황 악화에도 신제품 매출 증가와 고객사 다변화 등을 통해 안정적 성장을 이어가고 있다. 파크시스템스는 지난해 매출액 1246억원을 기록하며 창사 이래 처음으로 1000억원을 돌파했다. 지난 2015년 코스닥 시장에 상장 이래 연평균 30% 매출 성장을 이어오고 있는 파크시스템스는 매해 역대 매출액을 달성했다.

애프엔가이드에 따르면 파크시스템스 올해 매출액은 전년대비 15.48% 증가한 1438억원, 영업이익은 전년대비 8.6% 감소한 300억원을 전망한다. 

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